关于高纯电子气CF4中杂质检测

氟化氢肯定不能用色谱来做，其余都可以用GC-PDHID

多谢指点，决定把已有的GC-DID重建气路来测试。

CHF3,CClF3准备采用什么色谱柱分离？

最终决定用Hayesep R

氦离子检测器 两阀三柱（十通 四通 P-R\13X\P-R）分析H2, O2 AR,N2, CH4,CO,CO2, SF6，n CF4组分没问题，只是CH4与CF4相对不好分离

我们采用预柱p-N柱，13X分子筛分析柱，CH4和CF4得到良好的分离。出峰顺序：H2,O2,N2,CH4,CO,CF4, CO2,C2F6,SF6(切割)，C3F8,分析周期32分钟。