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用于透射电镜观察的薄膜表面样品制备

透射电镜(TEM)


  • 如上图所示,要观察外延膜的表面结构,要怎么制样?
    方案1:手磨衬底一面,比较薄之后钉薄,钉到比较薄之后离子减薄(耗时)
    方案2:FIB,只减薄衬底一面,最后得到的样品含衬底
    方案3:显微镜下敲碎,找膜露出来的地方用于观察
    请问还有更好的方案吗?
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  • 小偷爸爸

    第1楼2018/12/01

    玻璃用酸溶解,然后用铜网

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  • m3002960

    第2楼2018/12/02

    应助达人

    根据我们这的做法,其实离子减薄毕竟简单便宜,用691或者695也要不了多久??

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  • TEM

    第3楼2018/12/02

    我感觉FIB成功率有可能很低,外延膜要是比较软的话,必须留大量衬底支撑外延膜吧?而且膜很有可能被pt污染吧?而且也很有可能被离子束损伤。我不专业,希望大家多多讨论

    m3002960(m3002960) 发表:根据我们这的做法,其实离子减薄毕竟简单便宜,用691或者695也要不了多久??

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  • TEM

    第4楼2018/12/02

    那就是先切成小块,然后把玻璃腐蚀掉后,用铜网捞起来?您这样做过什么样品?听起来可行又不可行呀?腐蚀完后膜很有可能就碎了。酸里面捞出来得用水冲洗几次,把酸冲掉,这个过程膜很有可能也碎了。不知道这个过程会对外延膜造成什么损伤。但是碎掉的小膜或许也够电镜观察了

    小偷爸爸(v3050889) 发表:玻璃用酸溶解,然后用铜网

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  • m3033883

    第5楼2018/12/03

    应助达人

    就用离子减薄吧。也不要挖坑了。

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  • TEM

    第6楼2018/12/03

    磨到什么厚度离子减薄呢

    m3033883(m3033883) 发表:就用离子减薄吧。也不要挖坑了。

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  • m3033883

    第7楼2018/12/03

    应助达人

    一般40到50微米。由于你的膜比较薄。可以考虑先在膜面粘一个铜环。保护膜。

    TEM(Insm_76cfd4c7) 发表: 磨到什么厚度离子减薄呢

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  • TEM

    第8楼2018/12/05

    嗯嗯,知道了,感谢

    m3033883(m3033883) 发表:一般40到50微米。由于你的膜比较薄。可以考虑先在膜面粘一个铜环。保护膜。

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