气质联用（GCMS）
memory光阴
第1楼2020/10/23
分子涡轮泵转速上不去有两种可能，第一种前级泵也就是机械泵工作不正常，可能是机械故障也可能漏油，导致没有抽到指定的真空度，所以分子涡轮泵不启用；第二种是分子涡轮泵故障，这个比较严重了，楼主先检查一下机械泵是否正常工作
JOE HUI
第2楼2020/10/23
检查机械泵，检查漏气等位置
xiaogumd11
第3楼2020/10/23
气质开机，通过观察窗，第一要检查一下泵油的高度
小菜鸟
第4楼2020/10/23
机械泵查过了，没有漏油，也换过了新的泵油，还是一样的
symmacros
第5楼2020/10/23
请问机械泵运转正常吗？如果正常，检查有无漏气。
jauny0000
第6楼2020/10/23
我们也是5973气质，也是一个泵折腾我好久；有空我也写点东西上来发表一下。本来1.6W都泵，用200大洋给搞定了，不容易啊。
lzq168
第7楼2020/10/27
分子涡轮泵电源控制盒坏了,类似电脑电源的盒子
第8楼2020/10/27
期待分享一下，谢谢。
wajer
第9楼2020/10/30
是更换油封还是电机部分的电容之类的
第10楼2020/11/02
不行，一直解决不了，好不了了，工程师上门也没办法
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