扫描电镜(SEM/EDS)
dahua1981
第1楼2021/09/03
首先在拔出样品室的状态下,如果你移动JOYSTICK,看样品台是否在动,方向是否正确.如果没法动的话,那有2种可能1.你的BEI现在是否可以用,如果不可以用的话,可能是BEI的线卡到STAGE了2.如果可以用,那可能是STAGE CONT PB ,或者通讯有问题了.还有他偏移好以后,你再不动他也不会动了是吗?https://m.instrument.com.cn/bbs/d-4058054-1.html
SEMDriver
第2楼2021/11/12
基恩士??????
品牌合作伙伴
执行举报