扫描电镜（SEM/EDS）
dahua1981
第1楼2021/09/03
首先在拔出样品室的状态下,如果你移动JOYSTICK,看样品台是否在动,方向是否正确.如果没法动的话,那有2种可能1.你的BEI现在是否可以用,如果不可以用的话,可能是BEI的线卡到STAGE了2.如果可以用,那可能是STAGE CONT PB ,或者通讯有问题了.还有他偏移好以后,你再不动他也不会动了是吗?https://m.instrument.com.cn/bbs/d-4058054-1.html
SEMDriver
第2楼2021/11/12
基恩士??????
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【七月征文】不一YOUNG实验“猿”
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