侧板密封圈肉眼不见有凸起灰尘。放空阀检查拧紧了。我们的机械泵是不用加油的那种
通标小菜鸟(v3141805) 发表:楼主出现这些情况有两个原因:1、真空腔漏气严重,包括侧板密封圈凸起,有灰尘,放空阀没拧紧,当涡轮泵抽至一定时间后,自检发现漏气严重,开启自我保护程序,就会自动停止关闭。
2、前级泵问题,比如前级泵故障,泵油不足等等原因,也会造成上述情况。
不建议楼主不做样就关机,质谱属于精密仪器,频繁开关机容易出现故障,而且每次开关机泄真空抽真空都要花费不少时间,还要重新调谐,重新校正仪器状态做曲线,不用的时候建议将温度降低下来,开启载气节省模式