thermo iCAP RQ机械泵抽不了真空，将氩气打开后可抽真空

应助达人

先通氩气，保持管路，质谱端布满气体，驱散空气等杂质，保持真空状态。

应助达人

“扩散室真空压力无变化”，是指上面的这个Pirani Pressure？这个真空值在未点火时是不会变化的，不同时间显示的数值可能不一样。点火稳定后，Expansion Valve打开（会听到机械泵的声音明显不一样），这个真空值才会降低，两分钟内降低到2.3mbar以下，Slide Valve打开，仪器进入Operate状态。
平时抽真空时，下面的Penning Pressure会变化，这个真空值正常就可以了。至于工程师建议将氩气打开，是因为仪器里很多阀门要靠气体驱动，所以气体最好是开着。