仪器信息网APP
选仪器、听讲座、看资讯
立即体验
APP内打开
回版面
评论
收藏
点赞
拍砖
举报
取消
发布
当前位置:
仪器社区
>
质谱
>
ICP-MS
>
帖子详情
【实战宝典】半导体集成电路芯片制造过程中的沾污指的是什么?来源有哪些?
小官人-闭关修炼中
2022/07/05
私聊
ICP-MS
问题描述:半导体集成电路芯片制造过程中的沾污指的是什么?来源有哪些?
解答:
一个晶圆表面具有多个微芯片,每个芯片差不多有数以百万计的器件和互连线路,它们对沾污都非常敏感。随着芯片的特征尺寸为适应更高性能和更高集成度的要求而缩小,控制表面沾污的需要变得越来越关键。为实现沾污控制,所有的硅片,晶圆制备都要在沾污严格控制的净化间内完成。
沾污是指半导体制造过程中引入半导体硅片的任何危害微芯片成品率及电学性能的不希望有的物质。半导体器件极易受到多种污染物的损害,沾污经常导致有缺陷的芯片。这些污染物包括颗粒、金属杂质、化学物质、细菌和空气中分子污染(
AMC
),它们对工艺过程和器件产生影响,如器件工艺良品率、器件性能和器件可靠性。生产制造过程中主要的污染源包括空气,人,厂房,水,工艺用化学品,工艺气体以及生产设备。
颗粒污染源
*
引自
[3] p73
以上内容来自仪器信息网《
ICP-MS
实战宝典》
相关话题
1
【实战宝典】半导体集成电路芯片制造洁净间有什么要求?进入洁净间应该注意什么?
2
【实战宝典】半导体集成电路芯片制造中需要用到哪些材料?
3
【实战宝典】半导体集成电路制造工艺控制,需要用到哪些分析技术?
4
【实战宝典】ICP-MS在半导体集成电路中有哪些应用?
5
【实战宝典】什么是空白信号,检出限(DL)和背景等效浓度(BEC)?
近期热榜
【官方邀请】高效液相色谱使用情况有奖调研
反向液相色谱柱使用过程中的常见问题及排查经验分享
学习|测量不确定度干货知识讲解
丹纳赫四十周年寄语征集领大礼包
热门活动
【售后专场--招聘会】
第三届微课大赛投票进行中ing
猜你喜欢
最新推荐
热门推荐
更多推荐
讨论一下:HJ803-2016 土壤和沉积物 12种金属元素的测定 王水提取-电感耦合等离子体质谱法
讨论
2016/09/21
【原创】两台ICP-MS测硒结果悬殊
2008/07/24
欢迎新版主向明月(m3259047)上任
悬赏帖
2017/09/11
【讨论】大家有用ICP-MS测葡萄酒中的金属元素吗?
2011/04/29
【分享】2009版 同位素丰度与原子量表
2011/02/28
【求助】动能歧视和质量歧视
2011/06/10
icpms期间核查
原创
2023/03/17
安捷伦7900,机台疑似被污染
已应助
2022/01/19
安捷伦ICP-MS 的介绍设备硬件的维护及清洁
第十七届原创
2024/09/25
大佬们,还是老生常谈的问题,内标法的LOD如何计算?
原创
2024/09/25
icp-ms 检测时,内标的响应强度一直增大,但是整个序列的漂移值很小,这是什么情况啊?
求助
2024/09/23
PE ICP-MS开了一下盖子炬管后对不准进样锥了
原创
2024/09/21
icpms测试水样,哪些环节会导致Ta污染呀
求助
2024/09/21
【求助】ICP-MS的信号值在测样的过程中突变
已应助
2024/09/19
微波和电热板前处理Al的结果差异很大
已应助
2024/09/19
这一年ICPMS7900异常问题总结案列
第十七届原创
2024/09/18
能力验证结果的整改
第十七届原创
2024/09/18
内审员在实验室中的作用
第十七届原创
2024/09/18
人比人真的该死!”-同是去参观实验室的两个人给带来的收获却是不同的!!
第十七届原创
2024/09/18
有经验的新进人员为什么就不能“拿来即用”哪?
第十七届原创
2024/09/18
刚买的设备采用了几天怎么就坏了?
第十七届原创
2024/09/18
实验室评审结果的遐思
第十七届原创
2024/09/18
检测报告出问题真正的法律责任应该由谁来负?
第十七届原创
2024/09/18
植物油中其他油的色谱检测初探
第十七届原创
2024/09/18
示差检测器全是一正一负峰怎么回事
已应助
2022/07/05
Think-lab中国区技术服务中心今日正在招聘,电话客服专员-上海市,坐标上海市,高薪寻找不一样的你!
原创
2022/07/05
土壤测石油烃标准,旋转蒸发问题
已应助
2022/07/05
仪器信息网使用
讨论
2022/07/05
热流型DSC最大降温速率可达多少?为什么与温度有关?功率补偿型的升温速率也与温度有关吗?
求助
2022/07/05
复合蛋白饮料中重金属|营养成分|微生物|食品添加剂的检测
原创
2022/07/05
淀粉成分检测|淀粉含量检测
原创
2022/07/05
建筑装饰材料检测
原创
2022/07/05
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器(上海)有限公司(PerkinElmer)
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁
举报帖子
执行举报
点赞用户
好友列表
加载中...
正在为您切换请稍后...