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【实战宝典】半导体集成电路制造工艺控制，需要用到哪些分析技术？

小官人-闭关修炼中

2022/07/05

问题描述：半导体集成电路制造工艺控制，需要用到哪些分析技术？
解答：
微量污染物可影响半导体芯片产品的可靠性，甚至造成产品失效。因此，在接收原材料、生产制造过程、故障检测阶段以及整个装配和包装过程中，就应对污染物含量进行检测，降低污染。

分析仪器，包括电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）、气相质谱仪(GC-MS)，傅里叶红外光谱（FT-IR）,差式扫描量热仪（DSC），离子色谱仪（IC）,自动滴定仪等，是半导体和电子产品制造领域不可或缺的工具。

半导体集成电路制造与分析技术

前道工艺与分析技术

后道工艺与分析技术

以上内容来自仪器信息网《ICP-MS实战宝典》

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