问题描述:半导体集成电路芯片制造中需要用到哪些材料?
解答:
半导体集成线路芯片制造中的材料是指在集成电路器件制备工艺中所需要的材料,是集成电路工业不可或缺的基础。主要包括两类,分别为器件制造本身所需要的材料和器件制造过程中所消耗的材料。根据在器件制备工艺中的作用和功能的不同,半导体集成电路材料大致可分为功能材料(基体材料)、微细加工材料、工艺辅助材料和封装结构材料四大类。
半导体集成电路芯片制造中的材料
半导体集成电路制造中典型的材料化学品和化学品*引自[8]P462
半导体集成电路芯片制造中的材料成本构成
某硅片厂主要原、辅材料
某Fab厂主要原、辅材料
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