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【求助】关于离子减薄的离子枪

hjhcl

2007/04/18

透射电镜（TEM）

请教各位大侠，怎么检测离子减薄仪的离子枪偏了没有，我最近的试样都要好久才能减透，试样中心厚度20um左右，如果枪偏了，也会影响速度吧？具体检测怎么操作？

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imrwb

第1楼2007/04/19

你用的离子减薄仪是什么类型的。你可以找一个很薄而且易于减薄的材料试一下，安装样品前做好位置标记，一减漏就取出看一下就知道。另外，你的样品预减还是有点厚。
hjhcl 发表:请教各位大侠，怎么检测离子减薄仪的离子枪偏了没有，我最近的试样都要好久才能减透，试样中心厚度20um左右，如果枪偏了，也会影响速度吧？具体检测怎么操作？

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hjhcl

第2楼2007/04/20

请说具体一点用哪个材料测试一下？

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sun-guo

第3楼2007/09/08

可以用3mm的纸试一试。
hjhcl 发表:请说具体一点用哪个材料测试一下？

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heatwind

第4楼2007/09/10

我们这边TEM样品在pips之前，都要Dimple到中心区域2-4um左右，你的20um是不是太厚了点？
hjhcl 发表:请教各位大侠，怎么检测离子减薄仪的离子枪偏了没有，我最近的试样都要好久才能减透，试样中心厚度20um左右，如果枪偏了，也会影响速度吧？具体检测怎么操作？

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yingabcd2000

第5楼2008/10/21

离子枪如果偏了当然需要调整,目前国内使用的离子减薄仪主要有以下几个型号,美国Fischione1010,美国GATAN691和GATAM600,中国的GL-6960/6900/696F,德国巴泰克,美国Fischione1010目前在用不多,没接触过,美国GATAN691和GATAM600可以手动调整,比较方便,德国巴泰克可以用软件调整,GL系列为国产,国内用户很多,调整离子枪不太方便,而且最好是厂家技术人员服务,他们有这项服务,但他们的试样台可以调整,一般如果出现你的情况,调整试样台应该能够解决,如实在不行你可以和他们的厂家联系.在百度上一搜"离子减薄仪"就能搜到厂家

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