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涡轮分子泵运转时需要注意的问题4
lijing320323
2022/09/17
私聊
食品常规理化分析
3、充气措施
(1)为什么要充气
当涡轮分子泵关闭或运转极慢时,泵将不再有足够大的压缩比(泵内压力梯度)来阻止前级侧存在的碳氢化合物通过涡轮叶片向真空室进行返流。这种现象称作反扩散或分子返流。在静态条件下,整个系统的压力均衡时,在前级管道侧, 油的分压力通常为10- 4 ~10- 6 Torr ( 或13.33mPa~133.3μPa)最后也会波及到泵的入口处。当泵关闭时,适当地给泵内充气是控制油分子返流,保持真空室内无碳氢化合物的一种有效的措施。
当停泵后,碳氢化合物返流很快通过泵进入真空室内,如果系统仍保持在真空状态下,碳氢化合物将会粘在清洁的叶片和真空室的表面上。在随后再运转该系统时,将极难抽除粘着的碳氢化合物。另一方面,在涡轮分子泵停止运转时,如果给泵充入干燥氮气或干燥空气,则该干燥气体将给暴露的表面提供一层气体保护层,而且在系统充气后,返流的碳氢化合物由于与充入的气体混合起来,从而它的粘着能力很弱,在混合气体中碳氢化合物所占比例极小,在下一次抽空时也很快就能被抽走。
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