ICP-MS
Willdo
第1楼2023/01/09
PP瓶、水分不会对硅含量有影响,要避免微量硅的污染,要在洁净房中使用溶剂,取用要戴干净的手套。
ICPMS爱好者
第2楼2023/01/09
建议还是找专业的半导体企业做吧,方方面面的东西有影响
不知
第3楼2023/01/09
谢谢,之前看了一些文献,文献里关于硅污染源的论述并不是太多,目前对硅的污染源也是不太清楚
第4楼2023/01/09
好的,谢谢
tome
第5楼2023/01/09
硅影响因素较多,雾化器,雾化室这些最好用PFA材质,比较重要的是水要好,水机最好用密理博的7000系,酸的影响也不能忽视。
第6楼2023/01/09
谢谢。硅我们测不了,是送出去外检的。对方测了十几ppb,想找一下原因
第7楼2023/01/09
能想到的就是外检的样品用的是pp瓶,用PFA可能会好点(PFA怕寄出去收不回来了??
第8楼2023/01/09
我们用的7900,硅不太好测,其它金属可以小于50PPT
光哥
第9楼2023/01/10
用Cool Plasma可以做得比较低,amu选择45。你们自己是做超纯分析的,大概率也知道送出去的东西不可控因素太多,例如打开瓶子取样的方式等等。。。。如果真是十几个ppb的Si,样品又比较干净的话,7900s完全可以自己做。另外,不知道您的样品是什么?如果是比较纯净的样品,3ppb的也完全可以自己做
第10楼2023/01/10
谢谢,提供了一种思路,年后试一下。我们做的是IPA
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