气质联用（GCMS）
sdlzkw007
第1楼2023/12/31
请确认下前级机械泵是否正常工作，否则建议对机械泵维护一下。机械泵正常情况下再次开机。
通标小菜鸟
第2楼2024/01/01
楼主，那可能是前级泵的问题，真空涡轮泵的运行前提是机械泵需要讲质谱抽真空到一定程度，然后才会触发启动涡轮泵，如果长时间抽不到，涡轮泵会启动自我防护程序，然后就自己关闭了。建议楼主检查侧板部分是否漏气，放空阀是否拧紧，同时检查机械泵泵油是否足够。
symmacros
第3楼2024/01/01
请问机械泵是否运转正常？
安平
第4楼2024/01/02
确认漏气是否存在。如无异常，建议报修一下
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