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【求助】求助：HAADF在集成电路生产失效分析中有何应用

透射电镜（TEM）

  • 只知道HAADF可以提供非常高的Z contrast。有谁知道这个option在集成电路失效分析中有何应用？能有类似的paper或book推荐一下更好。谢谢。
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