瑞士Lyncee Tec数字全息显微镜DHM

瑞士Lyncee Tec超高速动态3D轮廓仪（4D显微镜）

数字全息技术是一种基于干涉原理的无接触、无需扫描、直接全视场成像技术，可在单次拍摄中同步记录被测对象的振幅和相位信息。近年来，随着图像传感器与处理算法的发展，数字全息技术已经实现了亚纳米级分辨率、实时化，动态化，并逐步发展为能够获取三维空间+时间演化信息的4D成像系统。该技术在非破坏性测试、实时动态3D分析、微结构测量、在线分析等领域展现出显著优势。

为3D光学形貌仪添加第四个维度（4D动态成像）

数字全息显微镜 (DHM®) 为静态三维形貌测量提供干涉测量级的亚纳米分辨率。与此同时，得益于独特的非扫描全息技术，DHM®的图像抓取速率极短，可达0.5毫秒，这一独一无二的4D测量能力为众多领域打开了广阔的应用空间。

4D:  超高速记录动态3D形貌

    ● 3D 成像抓取速度可达190帧/秒 (最高可选1000 帧/秒)

    ● 时间分辨率可达0.5毫秒 (最快10 微秒可选)

    ● 动态垂直测量范围可达200微米

3D形貌测量提供干涉测量级的亚纳米分辨率

    ● 任何物镜倍率下均保证亚纳米垂直分辨率

    ● 多种可选物镜，包括长工作距物镜、玻璃矫正物镜、水镜、油镜等

    ● 多环境下测量，包括真空、气氛、液体、透过光学窗口、温度湿度可控环境等

表征样品动态响应

    ● 热动力学参数响应 (压强、温度等)

    ● 气氛、液体环境响应 (例如沉积、腐蚀等)

    ● 机械力或电磁力响应

    ● 光辐射响应

应用领域：

● 研究可形变样品的三维动态响应

● 表面大区域高速扫描分析

● 高通量常规三维检测

● 生产线在线三维形貌捕捉

● MEMS测振分析，最高可达25MHz，全视场振动模态分析

● 多种可控环境下测量。透过玻璃或者浸润液测量；观测环境箱或真空腔内的样品，可控环境参数。

● 测量透明样品的三维形貌。多层透明薄膜的厚度、折射率测量。可从10nm~几十微米。

反射式数字全息显微镜DHM，无需扫描，非接触式测量动态、静态物体3D形貌和振动特性以及动态4D形貌。

根据波长的不同将反射式DHM分为三种型号：

R1000-配备单一光源，是测量光滑表面和振动的标准测量工具

R2100-同时配置双波长，实现复杂或不连续结构的测量。

R2200-在R2100基础上多了第三方光源来扩展测量能力，特别是测量透明模式。