瑞士Lyncee Tec超高速3D轮廓测量仪

瑞士Lyncee Tec超高速3D轮廓测量仪

微透镜 (Micro-Lenses) 的晶圆级质量控制

精确测量微透镜的曲率半径(ROC)、圆锥系数(Conic Constant)、面型偏差(RMS)和表面粗糙度等，能够全面表征其各项几何参数，确保其光学性能。评估晶圆的每个微透镜，确保其质量和均匀性，并确保最终器件的正常运行。

晶圆包含数万个微透镜。凭借其独特的超快速度，我们的DHM克服了其他仪器 (如：白光干涉仪) 的限制，能够表征足够数量的透镜。

Industrial DHM®R100和R200系列是紧凑轻便的3D光学轮廓测量探头，具有干涉分辨率。它们可以安装在机器人手臂和龙门架上，并且可以很容易地集成到其他仪器设备中。与其他LyncéeTec DHM®数字全息显微镜产品类似，该测量技术与其他光学轮廓仪的根本不同之处在于不需要垂直和水平扫描。3D信息在整个视场内以相机帧率即时获取。

它有很多优点：

1、样品可以在运动中测量，而无需静止样品。

2、曝光时间非常短，低至微秒，使测量对环境振动不敏感。

3、采集时间短且高帧率，使我们能够在很短的时间内表征大面积，并执行高吞吐量的质量控制。

4、不需要扫描装置，使得系统非常稳健，具有较大的平均故障间隔时间（MTBF）。

5、垂直校准依赖于完美控制的激光波长稳定性，确保计量可追溯性，并避免扫描非线性和长期漂移。