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Onto晶圆OCD及薄膜量测机台
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| 型号： | IRIS S |
| 品牌： | 艾尧仪器 |
| 产地类别： | 进口 |
| 产地： | 马来西亚 |
| 厂商性质： | 一般经销商 |
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| 更新时间： | 2026/06/30 |
艾尧仪器关键尺寸测量
艾尧仪器IRIS S
进口关键尺寸测量
Onto晶圆薄膜量测及OCD测量机台
Iris S系统是一款多功能平台解决方案，支持150mm、200mm和300mm晶圆。它提供薄膜厚度测量、OCD量测和晶圆翘曲、薄膜应力、铝浓度等参数的一体化测量。
Iris S系统提供薄膜计量和先进的OCD测量功能。它占地面积小，可处理150mm、200mm和300mm的晶圆尺寸，包括薄、厚和键合晶圆。该系统支持Si、SiC、GaN和玻璃等各种材料，解决了影响性能和产量的器件级挑战。
Iris S系统包括双臂机器人、高精度载物台、先进的模式识别和高速聚焦，可实现高吞吐量的精确定位。双通道光学架构在从紫外到红外的宽波长范围内提供斜入射米勒矩阵光谱椭圆偏振测量（MMSE）和正入射光谱反射测量（SR）。量测精度达到亚纳米级别。
Ai Diffract™软件接口和自动化符合SEMI标准。Onto的模型引导机器学习实现了快速、灵活和稳健的薄膜和OCD配方设置。
- 保修期： 1年
- 是否可延长保修期： 是
- 现场技术咨询： 有
- 免费培训： 有
- 免费仪器保养： 6月1次
- 保内维修承诺： 免费维修更换零件
- 报修承诺： 48小时内响应
艾尧仪器Onto晶圆OCD及薄膜量测机台IRIS S由上海艾尧科学仪器有限公司提供，产地为马来西亚，属于进口关键尺寸测量，符合多项国家和国际分析标准， 广泛应用于生物研究、电子/电气、航空航天、食品、烟草、农业等领域，艾尧仪器Onto晶圆OCD及薄膜量测机台IRIS S凭借其创新性与实用性，在关键尺寸测量用户中获得广泛关注。
根据艾尧仪器官方产品资料显示：艾尧仪器Onto晶圆OCD及薄膜量测机台IRIS S的价格为面议，具体型号是IRIS S，品牌为艾尧仪器。
在同系列产品中，您还可以选择以下型号:
产品名称 |
品牌 |
型号 |
产地类型 |
价格 |
|---|---|---|---|---|
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晶圆厚度TTV、翘曲Bow/Warp、粗糙度测量系统
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艾尧仪器 |
XW-A300 |
国产 |
面议 |
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荷兰TeraNova光栅CD尺寸测量仪
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TeraNova |
LabScatter |
进口 |
面议 |
|
德国E+H晶圆厚度及电阻率测量仪
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E+H Metrology |
MX608 |
进口 |
面议 |
客户服务热线：400-616-7676,1611（售前/售后支持）
官方链接：https://m.instrument.com.cn/netshow/SH104306/C314972.html
来源：上海艾尧科学仪器有限公司
工商信息
信息已认证
- 企业名称: 上海艾尧科学仪器有限公司
- 企业类型: 有限责任公司
- 信用代码: 91310230MA1K17UD9U
- 成立日期: 2018年07月06日
- 注册资本: 100万元
- 经营范围: 仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、...
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