Candela 8420 表面缺陷检测系统
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Candela 8420 表面缺陷检测系统

参考价：面议
型号： Candela 8420
产地： 美国
品牌： KLA
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核心参数
KLA Instruments科磊仪器部
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Candela 8420表面缺陷检测系统

Candela 8420是一种表面缺陷检测系统，它使用多通道检测和基于规则的缺陷分类，对不透明、半透明和透明晶圆(如砷化镓、磷化铟、钽酸锂、铌酸锂、玻璃、蓝宝石和其他化合物半导体材料)提供微粒和划痕检测。 8420表面缺陷检测系统采用了专有的OSA（光学表面分析仪）架构，可以同时测量散射强度、形貌变化、表面反射率和相位变化，从而对各种关键缺陷进行自动检测与分类。只需几分钟即可完成全晶圆检测，并生成高分辨率图像和自动化检测报告，同时附带缺陷分类和晶圆图。

产品说明

Candela 8420晶圆检测系统可以检测不透明、半透明和透明晶圆（包括玻璃、单面抛光蓝宝石、双面抛光蓝宝石）的表面缺陷和微粒；滑移线；砷化镓和磷化铟的凹坑和凸起；表面haze map；以及钽酸锂、铌酸锂和其他先进材料的缺陷。8420表面检测系统用于化合物半导体工艺控制（晶圆清洁、外延前后）。其先进的多通道设计提供了比单通道技术更高的灵敏度。CS20R配置的光学器件经过优化，可用于检测化合物半导体材料，包括光敏薄膜。

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功能

  • 检测直径达200毫米不透明、半透明和透明化合物半导体材料上的缺陷

  • 手动模式支持扫描不规则晶圆

  • 支持各种晶圆厚度

  • 适用于微粒、划痕、凹坑、凸起和沾污等宏观缺陷

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应用案例

  • 衬底质量控制

  • 衬底供应商对比

  • 入厂晶圆质量控制(IQC)

  • 出厂晶圆质量控制(OQC)

  • CMP（化学机械抛光工艺）/抛光工艺控制

  • 晶圆清洁工艺控制

  • 外延工艺控制

  • 衬底与外延缺陷关联

  • 外延反应器供应商的对比

  • 工艺机台监控

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行业

  • 包括垂直腔面发射激光器在内的光子学

  • LED

  • 通信（5G、激光雷达、传感器）

  • 其他化合物半导体器件

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选项

  • SECS-GEM

  • 信号灯塔

  • 金刚石划线

  • 校准标准

  • 离线软件

  • 光学字符识别(OCR)

  • CS20R配置用于检测光敏薄膜

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售后服务
  • 产品货期： 30天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训
  • 安装调试时间： 到货后7天内
  • 电话支持响应时间： 24小时内
  • 是否提供维保合同： 是
  • 维修响应时间： 2天内

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