型号: | F60-t系列 |
产地: | 美国 |
品牌: | KLA |
评分: |
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Filmetrics F60-t 系列就像我们的 F50产品一样测绘薄膜厚度和折射率,但它增加了许多用于生产环境的功能。 这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机,以及升级到全自動化晶圆传输的机型。
不同的 F60-t 仪器根据波长范围加以区分。 较短的波长 (例如, F60-t-UV) 一般用于测量较薄的薄膜,而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。 .
集成平台/光谱仪/光源装置(不含平台)
4", 6" and 200mm 参考晶圆
TS-SiO2-4-7200 厚度标准
真空泵
备用灯
每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种
应用工程师可立刻提供帮助(周一 - 周五)
网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)
硬件升级计划
型号 | 厚度范围* | 波长范围 |
---|---|---|
F60-t | 20nm-70µm | 380-1050nm |
F60-t-UV | 5nm-40µm | 190-1100nm |
F60-t-NIR | 100nm-250µm | 950-1700nm |
F60-t-EXR | 20nm-250µm | 380-1700nm |
F60-t-UVX | 5nm-250µm | 190-1700nm |
F60-t-XT | 0.2µm-450µm | 1440-1690nm |
F60-t-s980 | 4µm-1mm | 960-1000nm |
F60-t-s1310 | 7µm-2mm | 1280-1340nm |
F60-t-s1550 | 10µm-3mm | 1520-1580nm |
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