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iNano®纳米压痕仪

iNano®纳米压痕仪使测量薄膜、涂层和小体积材料变得更简单。准确、灵活、用户友好的仪器可以进行多样的纳米材料力学测试，包括压痕、硬度、划痕和通用的纳米尺度测试。大范围的力和位移动态测量范围允许对从软聚合物到金属的材料进行精确和可重复的测试。模块选项可以适配各种应用：材料性能分布图、特定频率的测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iNano纳米压痕仪拥有一整套可扩展的测试选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz 3D/4D性能分布图和远程视频选项。

产品描述

iNano纳米压痕仪采用了用于执行纳米压痕和通用纳米机械测试的InForce 50作动器。InForce 50的50 mN力和50µm位移范围允许该系统执行广泛的测试。InView 软件包灵活、现代，让用户轻松进行纳米尺度测试。iNano是一个紧凑的平台，内置有高速InQuest控制器和隔振机架。可以测试各种材料和装置，包括金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物物质和凝胶。

功能

InForce 50作动器用于电容位移测量和电磁力驱动，具有可互换的压头
独特的软件集成压头校准系统，精确的压头校准
Inquest高速电子控制器，具有100kHz数据采集速率和20µs时间常数
XY移动系统带有易于安装的磁性样品架
具有数字变焦功能的集成显微镜，可获得精确的压痕定位
ISO 14577和标准化测试方法
包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、 InView University 在线培训和InView移动应用程序的InView软件包

应用

硬度和模量测量(Oliver-Pharr)
材料力学性能分布图
ISO 14577硬度测试
聚合物损耗因子
高温纳米压痕测试

行业

大学、研究实验室和研究所
半导体和封装行业
聚合物和塑料
MEMS：微机电系统/纳米尺度通用测试
陶瓷和玻璃
金属和合金
药品
涂料和油漆
聚合物制造
复合材料
电池和储能

主要应用

硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）

在薄膜的工艺控制和制造过程中，表征其力学性能至关重要，其中包括汽车行业的涂层质量，以及半导体制造中的前道和后道工艺控制等。

iNano 纳米压痕仪可以测量各种材料的硬度和模量，从超软胶到硬涂层。高效地评估材料性能，保证了在生产线上进行有效的质量管控。

快速压痕力学性能成像

对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。iNano提供了X和Y轴100毫米和Z轴25毫米的样品台移动，允许在大样品面积上测试各种样品高度。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。

ISO 14577硬度测试

iNano纳米压痕仪包括一个预编程的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577标准测量材料的硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。

聚合物损耗因子

iNano纳米压痕仪能够测量超软材料（包括粘弹性聚合物）的损耗因子。储存模量、损耗模量和损耗因子是粘弹性聚合物的重要性能，因为作用到此类材料上的能量以弹性能的形式储存或以热量的形式耗散。上述指标即用于衡量材料中的能量储存和耗散情况。

高温纳米压痕测试

高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。

KLA Instruments科磊仪器部为您提供KLAiNano® 纳米压痕仪iNano® ，KLAiNano® 产地为美国，属于进口纳米压痕仪、划痕仪，除了iNano® 纳米压痕仪的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多纳米压痕仪、划痕仪,KLA客服电话400-801-5101，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 30天
培训服务：安装调试现场免费培训
安装调试时间：到货后7天内
电话支持响应时间： 24小时内
是否提供维保合同：是
维修响应时间： 2天内

型号：	iNano®
产地：	美国
品牌：	KLA
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