Filmetrics F60-C系列薄膜厚度测量仪
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Filmetrics F60-C系列薄膜厚度测量仪

参考价：面议
型号： F60-C系列
产地： 美国
品牌： KLA
评分：
核心参数
KLA Instruments科磊仪器部
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Filmetrics F60-C系列薄膜厚度测量仪

适合生产环境的自动晶圆传输薄膜厚度测绘系统

Filmetrics® F60-c系列能够像我们的F50产品一样对薄膜厚度和折射率进行测绘，但它还包括许多专门用于生产环境的功能。这其中包括自动寻找v-槽、自动基准校正、运动联锁装置的封闭式测量台、已安装软件的工业计算机, 以及晶盒及机械手臂自动传输。新款F60-c融合了Filmetrics 多点膜厚测量技术与KLA Instruments™ 产线自动化传片模组。


不同的F60-c仪器主要通过测量厚度和波长范围来区分。通常测量较薄的薄膜需要较短的波长（例如F60-c-UV），而较长的波长则适于测量较厚、较粗糙和更不透明的薄膜。

包含的内容：

  • 集成光谱仪/光源装置

  • 6" 和 200mm 晶圆反射率标准

  • TS-SiO2-8-8000 厚度标准

  • 真空泵

  • 备用 LAMP-THF60 灯


额外的好处：

  • 每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种

  • 应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）

  • 网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)

  • 硬件升级计划

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常见的选购配件

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型号规格

*取决于薄膜种类
型号厚度范围*波长范围
F60-c20nm-70µm380-1050nm
F60-c-UV5nm-40µm190-1100nm
F60-c-NIR100nm-250µm950-1700nm
F60-c-EXR20nm-250µm380-1700nm
F60-c-UVX5nm-250µm190-1700nm
F60-c-XT0.2µm-450µm1440-1690nm
F60-c-s13107µm-2mm1280-1340nm
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KLA Instruments科磊仪器部为您提供KLAFilmetrics F60-C系列薄膜厚度测量仪，KLAF60-C系列产地为美国，属于进口白光干涉测厚仪，除了Filmetrics F60-C系列薄膜厚度测量仪的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多白光干涉测厚仪,KLA客服电话400-801-5101，售前、售后均可联系。

KLA白光干涉测厚F60-C系列的工作原理介绍白光干涉测厚F60-C系列的使用方法?KLAF60-C系列多少钱一台?白光干涉测厚F60-C系列可以检测什么？白光干涉测厚F60-C系列使用的注意事项？KLAF60-C系列的说明书有吗？KLA白光干涉测厚F60-C系列的操作规程有吗？KLA白光干涉测厚F60-C系列报价含票含运吗？KLAF60-C系列有现货吗？
售后服务
  • 产品货期： 30天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训
  • 安装调试时间： 到货后7天内
  • 电话支持响应时间： 24小时内
  • 是否提供维保合同： 是
  • 维修响应时间： 2天内

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