Filmetrics F30系列薄膜厚度测量仪
Filmetrics F30系列薄膜厚度测量仪
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Filmetrics F30系列薄膜厚度测量仪

参考价:面议
型号: F30
产地: 美国
品牌: KLA
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核心参数
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Filmetrics F30系列薄膜厚度测量仪

监控薄膜沉积,最强有力的工具

F30 光谱反射率系统能实时测量沉积率、沉积层厚度、光学常数 (n 和 k 值) 和半导体以及电介质层的均匀性。

样品层

分子束外延和金属有机化学气相沉积: 可以测量平滑和半透明的,或轻度吸收的薄膜。 这实际上包括从氮化镓铝到镓铟磷砷的任何半导体材料。




各项优点:

  • 极大地提高生产力

  • 低成本 —几个月就能收回成本

  • A精确 — 测量精度高于 ±1%

  • 快速 — 几秒钟完成测量

  • 非侵入式 — 完全在沉积室以外进行测试

  • 易于使用 — 直观的 Windows™ 软件

  • 几分钟就能准备好的系统

型号规格

*取决于薄膜种类
型号厚度范围*波长范围
F3015nm-70µm380-1050nm
F30-EXR15nm - 250µm380-1700nm
F30-NIR100nm - 250µm950-1700nm
F30-UV3nm-40µm190-1100nm
F30-UVX3nm - 250µm190-1700nm
F30-XT0.2µm - 450µm1440-1690nm

常见的选购配件:



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KLA Instruments科磊仪器部为您提供KLAFilmetrics F30系列薄膜厚度测量仪,KLAF30产地为美国,属于进口白光干涉测厚仪,除了Filmetrics F30系列薄膜厚度测量仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多白光干涉测厚仪,KLA客服电话400-801-5101,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 30天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训
  • 安装调试时间: 到货后7天内
  • 电话支持响应时间: 24小时内
  • 是否提供维保合同:
  • 维修响应时间: 2天内

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