型号: | F32系列 |
产地: | 美国 |
品牌: | KLA |
评分: |
|
集成光谱仪/光源装置
FILMeasure 8 软件
FILMeasure 独立软件 (用于远程数据分析)
参考材料
厚度标准
整平滤波器 (用于高反射基板)
型号 | 厚度范围* | 波长范围 |
---|---|---|
F32 | 15nm - 70µm | 380-1050nm |
F32-EXR | 15nm - 250µm | 380-1700nm |
F32-NIR | 100nm - 250µm | 950-1700nm |
F32-UV | 1nm - 40µm | 190-1100nm |
F32-UVX | 1nm - 250µm | 190-1700nm |
F32-XT | 0.2µm - 450µm | 1440-1690nm |
BREADCRUMB_f32sx | 10µm - 3mm | 960-1580nm |
每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种
应用工程师可立刻提供帮助(周一 - 周五)
网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)
硬件升级计划
SampleCam
StageBase-XY10- Auto-100mm
多厚度硅基上的二氧化硅标准
追溯的 NIST 厚度标准
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