KLAFilmetrics F50系列薄膜厚度测量仪_价格-KLA Instruments科磊仪器部

Filmetrics F50系列薄膜厚度测量仪

参考价：面议

型号：

F50系列

产地：

美国

品牌：

KLA

评分：

产品详情

Filmetrics F50系列薄膜厚度测量仪

自动化薄膜测绘

Filmetrics F50 系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta 平台可接受标准和客制化夹盘，样品直径可达450毫米。(耐用的平台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!)

測绘圖案可以是极座標、矩形或线性的，您也可以创造自己的测绘方法，并且不受测量点数量的限制。內建数十种预定义的测绘圖案。

不同的 F50 仪器是根据波长范围来加以区分的。标准的 F50是最受欢迎的产品。一般较短的波长 (例如， F50-UV) 可用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

包含的内容：

集成光谱仪/光源装置
光纤电缆
4", 6" and 200mm 参考晶圆
TS-SiO2-4-7200 厚度标准
BK7 参考材料
整平滤波器 (用于高反射基板)
真空泵
备用灯

额外的好处：

每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种
应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）
网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)
硬件升级计划

型号规格

*取决于薄膜种类
型号	厚度范围*	波长范围
F50	20nm-70µm	380-1050nm
F50-UV	5nm-40µm	190-1100nm
F50-NIR	100nm-250µm	950-1700nm
F50-EXR	20nm-250µm	380-1700nm
F50-UVX	5nm-250µm	190-1700nm
F50-XT	0.2µm-450µm	1440-1690nm
F50-s980	4µm-1mm	960-1000nm
F50-s1310	7µm-2mm	1280-1340nm
F50-s1550	10µm-3mm	1520-1580nm

常见的选购配件：

KLA Instruments科磊仪器部为您提供KLAFilmetrics F50系列薄膜厚度测量仪，KLAF50系列产地为美国，属于进口白光干涉测厚仪，除了Filmetrics F50系列薄膜厚度测量仪的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多白光干涉测厚仪,KLA客服电话400-801-5101，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 30天
培训服务：安装调试现场免费培训
安装调试时间：到货后7天内
电话支持响应时间： 24小时内
是否提供维保合同：是
维修响应时间： 2天内