Filmetrics F3-sX薄膜厚度测量仪
Filmetrics F3-sX薄膜厚度测量仪
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Filmetrics F3-sX薄膜厚度测量仪

参考价：面议
型号： F3-sX
产地： 美国
品牌： KLA
评分：
核心参数
KLA Instruments科磊仪器部
白金会员 丨 1年
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产品详情

Filmetrics F3-sX薄膜厚度测量仪

F3-sX 系列能测量半导体与介电层薄膜厚度到3毫米,而这种较厚的薄膜与较薄的薄膜相比往往粗糙且均匀度较为不佳

波长选配

F3-sX系列使用近红外光来测量薄膜厚度，即使有许多肉眼看来不透光(例如半导体)。 F3-s980 是波长为980奈米的版本，是为了针对成本敏锐的应用而设计,F3-s1310是针对重掺杂硅片的最佳化设计,F3-s1550则是为了最厚的薄膜设计。

附件

附件包含自动化测绘平台，一个影像镜头可看到量测点的位置以及可选配可见光波长的功能使厚度测量能力最薄至15奈米。

包含的内容：

  • 集成光谱仪/光源装置

  • 光斑尺寸10微米的单点测量平台

  • FILMeasure 8反射率测量软件

  • Si 参考材料

  • FILMeasure 独立软件 (用于远程数据分析)

  • 型号规格

  • *取决于薄膜种类
    型号厚度范围*波长范围
    F3-s98010µm - 1mm960-1000nm
    F3-s131015µm - 2mm1280-1340nm
    F3-s155025µm - 3mm1520-1580nm

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额外的好处：

  • 每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种

  • 应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）

  • 网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)

  • 硬件升级计划

常见的选购配件：

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厚度测量软件升级

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SampleCam-sX

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StageBase-XY10-Auto-100mm

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KLA Instruments科磊仪器部为您提供KLAFilmetrics F3-sX薄膜厚度测量仪，KLAF3-sX产地为美国，属于进口白光干涉测厚仪，除了Filmetrics F3-sX薄膜厚度测量仪的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多白光干涉测厚仪,KLA客服电话400-801-5101，售前、售后均可联系。

KLA白光干涉测厚F3-sX的工作原理介绍白光干涉测厚F3-sX的使用方法?KLAF3-sX多少钱一台?白光干涉测厚F3-sX可以检测什么？白光干涉测厚F3-sX使用的注意事项？KLAF3-sX的说明书有吗？KLA白光干涉测厚F3-sX的操作规程有吗？KLA白光干涉测厚F3-sX报价含票含运吗？KLAF3-sX有现货吗？
售后服务
  • 产品货期： 30天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训
  • 安装调试时间： 到货后7天内
  • 电话支持响应时间： 24小时内
  • 是否提供维保合同： 是
  • 维修响应时间： 2天内

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