Candela 8720 表面缺陷检测系统
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Candela 8720 表面缺陷检测系统

参考价：面议
型号： Candela 8720
产地： 美国
品牌： KLA
评分：
核心参数
KLA Instruments科磊仪器部
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Candela 8720表面缺陷检测系统

Candela 8720先进的集成式表面和光致发光(PL)缺陷检测系统可以捕获各种关键衬底和外延缺陷。采用统计制程控制(SPC)的方法来进行自动晶圆检测，可显著降低由外延缺陷导致的良率损失，最大限度地减少金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应器的工艺偏差，并增加MOCVD反应器的正常运行时间。


产品说明

Candela 8720晶圆检测系统采用专有的光学技术，可同时测量两个入射角的散射强度。它可以捕捉到形貌变化、表面反射率、相位变化和光致发光，从而对各种关键缺陷进行自动检测与分类。应用包括射频、功率和高亮度LED的氮化镓检测，能够检测裂纹、晶体位错、小丘、微坑、滑移线、凸点和六角凸点以及外延缺陷。8720检测系统还可用于其他高端化合物半导体工艺材料的缺陷检测，例如用于LED、垂直腔面发射激光器和光子学应用的砷化镓和磷化铟。

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  功能

  • 对直径达200毫米的高端化合物半导体材料进行缺陷检测。

  • 支持各种晶圆厚度

  • 适用于宏观和微观缺陷，如裂纹、多量子阱扰动、微粒、划痕、凹坑、凸起和沾污缺陷

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 应用案例

  • 衬底质量控制

  • 衬底供应商对比

  • 入厂晶圆质量控制(IQC)

  • 出厂晶圆质量控制(OQC)

  • CMP（化学机械抛光工艺）/抛光工艺控制

  • 晶圆清洗工艺控制

  • 外延工艺控制

  • 衬底与外延缺陷关联

  • 外延反应器供应商的对比

  • 工艺机台监控

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 行业

  • 高亮度LED、微型LED包括AR|VR

  • 氮化镓的射频和氮化镓的功率应用

  • 通信（5G、激光雷达、传感器）

  • 其他高端化合物半导体器件

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 选项

  • SECS-GEM

  • 信号灯塔

  • 金刚石划线

  • 金刚石划线

  • 校准标准

  • 离线软件

  • 光学字符识别(OCR)

  • 光致发光

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KLA Instruments科磊仪器部为您提供KLACandela 8720 表面缺陷检测系统，KLACandela 8720产地为美国，属于进口晶圆缺陷光学检测设备，除了Candela 8720 表面缺陷检测系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多晶圆缺陷光学检测设备,KLA客服电话400-801-5101，售前、售后均可联系。

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售后服务
  • 产品货期： 30天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训
  • 安装调试时间： 到货后7天内
  • 电话支持响应时间： 24小时内
  • 是否提供维保合同： 是
  • 维修响应时间： 2天内

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