资料摘要
资料下载电阻率测量机台上使用的四探针探头若保养不当，会出现结果不稳定的情况。晶圆应用中的条件变化、探针与表面的接触、系统温度和电子元件都会影响方块电阻测量结果。探针要想达到最优性能，关键在于确定和最大限度减少这些引起变化的来源。本应用说明介绍了四探针测量中的关键误差源，并详细说明了优化探针性能的已知最佳方法。 本技术说明可作为在 Filmetrics® 电阻率机台上优化探针性能的指南。它会帮助确认关键误差源，并解释实现最佳性能的已知最佳方法，其中还包括程式优化流程和样品制备，而这两个因素可能会使得不好的测量结果被错误地归咎于探针。 误差源 有多个变化来源会影响四探针测量。最主要的来源包括品圆工艺变化、探针接触、温度变化和电子元件引起的变化。电阻测量成功的关键是确认和最大限度减少这些最主要的误差源。
文献贡献者
产品手册—T150 UTM纳米力学测试仪
简介：T150 UTM为研究人员提 供了一种全面的纳米力学 表征手段。该系统具有高 分辨率和大动态范围，可 以测量跨越五个数量级的 储能模量和损耗模量，从 而使研究人员能够了解柔 性纤维和应变速率敏感材 料的动态特性。它通过电 磁驱动产生拉力（样品上 的载荷），通过高精度电 容型位移传感器确保在大 应变范围内具有高灵敏 度。它还为研究人员提供 动态表征模式,可用以研究 生物材料的拉伸/压缩特 性，并在测试过程中的每 个时间点进行精确测量。 精确灵活，方便易用。快速生成准确的实时测试结果，并 在Microsoft Word和Excel中自动生成报告。由知识渊 博、经验丰富的技术专家和客户服务工程师提供技术支 持并指导用户完成个性化实验设计
产品手册—Tencorrm P-17探针式轮廓仪
简介：Tencor P-17 是基于 40 多年轮廓测量经验所开发的第八代 P系列探针式轮廓仪。该系统提供可编程扫描台、低噪声和在整个垂直范围内的亚埃级电子分辨率，能够以高分辨率扫描整个样品表面。 P-17 包括一个无需拼接处理即可测量整个基板的 200mm 扫描台。UltraLite®传感器组件将较大的线性垂直范围与恒力控制相结合，可测量多种材料和形貌。俯视和侧面视图光学系统可实现便捷的位置教学、图形识别和在测量过程中探针的可视化。 P-17 将自动化与高可靠性结合起来，以满足生产应用需求而无需使用晶圆装卸器。这些应用包括半导体、功率器件、无线、LED 和数据存储的 ATiC、GaAs、Si、Sic 和蓝宝石晶圆的台阶高度测量、粗糙度测量和应力计算。
产品手册—Tencortm P-7探针式轮廓仪
简介：P-7 探针式轮廓仪是我们在P-17桌面探针式轮廓仪获得成功的市场地位之后打造的新一代仪器。它涵盖了P-17 先进的测量性能，能够为桌面探针式轮廓仪提供很高的性价比。 P-7系统包括一个无需拼接处理即可测量整个基板的150mm 扫描台。UltraLite® 传感器组件将较大的线性垂直范围与恒定力控制相结合，可测量各种材料和形貌。俯视视图光学系统可实现简便的位置教学和模式识别，用户也可以使用侧面视图光学系统，以便在测量过程中实现探针的可视化。 P-7 将自动化与高可靠性结合起来，以满足生产应用需求而无需使用晶片装卸器。这些应用包括半导体、功率器件、无线、LED 和数据存储的 AlTiC、GaAs、Si、Sic 和蓝宝石品圆的台阶高度测量、粗糙度测量和应力计算。
产品手册—Zeta-20HR高分辨率光学轮廓仪
简介：KLA Instruments™ 推出 Zeta™-20HR 高分辨率光学轮廓仪，专为满足新型太阳能电池的结构表征和下一代生产工艺的量测需求而设计。 Zeta-20HR提高了光学轮廓仪的分辨率，将对太阳能电池结构的表征能力拓展至 1um 以下。这款新型的 Zeta设备，基于具有 ZDot™ 技术的 Zeta-20 设计，最高可配备 230mm x230mm 尺寸的样品载台，并具备所有标准化且易用的多模测量能力。Zeta光学轮廓仪是太阳能电池工艺开发和控制的理想量测工具。 横向分辨率相较于 Zeta-20 标准版提升 30% 样品台拓展至 230mmx230mm支持先进的太阳能电池生产工艺 用于下一代太阳能电池生产工艺的结构形貌表征 改进的数据可视化方式 应用 太阳能电池金字塔结构的形貌测量 特征结构的形貌和粗糙度测量 太阳能细栅、主栅测量 品圆翘曲和应力测量 金刚石切割线测量 激光开槽测量 30nm至100um的透明薄膜厚度测量， 并生成厚度分布图 横向尺寸灵敏度>1um的自动化缺陷检测
产品手册—Zeta—20光学轮廓仪
简介：Zeta-20光学轮廓仪是非接触式、桌面式三维表面形貌测量系统。Zeta-20光学轮廓仪采用ZDot"技术和多模组光学系统，可测量各种不同的样品:包括透明与不透明、低至高反射率、光滑到粗糙的表面，以及亚纳米级到毫米级的台阶高度。Zeta-20可提供台阶高度、粗糙度和膜厚等多功能测量，以及缺陷检测功能，以用于研发或量产。 系统优势 快速的非接触式三维光学轮廓仪 多模组光学系统提供3D扫描、差分干涉、薄膜厚度和自动缺陷检测 全自动测量 同时提取样品表面的真彩色信息和形貌信息 可测量最大直径为150mm的样品 可选择手动或电动XY载台和转台 用户界面简洁直观 主要应用 从纳米级到毫米级的台阶高度，可用于高深宽比台阶测量 从亚纳米级至亚毫米级的表面粗糙度分析，适用于光滑表面和粗糙表面 Z向高分辨率的白光干涉测量，可用于广域台阶高度测量 薄膜应力和样品翘曲测量 测量30nm到100um透明薄膜的厚度:可提供薄膜均匀性数据和薄膜厚度分布图 透明的多层结构，例如封装后的微流体器件 自动缺陷检测，可识别横向尺寸大于1um的缺陷
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