仪器对比
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- ≥20inch(508mm)
- 30-200rpm
- 70-700g/cm2
- 30-200rpm
- ±10mm
v 该化学机械抛光机可用于各类半导体集成电路、氧化物、金属、STI、SOI等产品的CMP平坦化抛光。 通过更换抛光头可兼容4、6、8英寸晶圆
v 系统功能：手动上下片，程序自动进行抛光，配有终点监测装置，配置半自动loading & unloading托盘系统，8寸规格，方便8寸晶圆上下片
v 抛光数据监测：具有摩擦力监测功能
v 配备红外温度计实时监测抛光过程中抛光垫表面温度
v 抛光盘直径≥20inch(508mm) 转速范围：30-200rpm
v 抛光头wafer加压方式：气囊加压，带有背压功能
v wafer压力控制范围：70-500g/cm2
v 保持环压力控制范围：70-700g/cm2
v 抛光头转速范围：30-200rpm 摆动幅度：±10mm
v 抛光液供应系统：3个可调流量蠕动泵供液，3路独立的抛光液通道，滴液位置可调
v 配置摩擦力&温度终点监控系统：含专用监测软件，带有End point detection功能
v 控制系统：PC工控机控制，触摸屏操作，可存储20个加工程序，加工程序最多可设6个不同加工阶段
v 均匀性 (1sigma,EE(Edge Exclusion):5mm)
片内非均匀性WIWNU≤5%
片间非均匀性WTWNU≤5%
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
化学机械抛光机CMP信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于化学机械抛光机CMP报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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