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- ≥20inch(508mm)
- 30-200rpm
- 70-700g/cm2
- 30-200rpm
- ±10mm
1. 产品概述：
MCF 的化学机械抛光机 CMP 是一种用于半导体制造等领域的关键设备，主要通过机械研磨和化学液体溶解 “腐蚀” 的综合作用，对半导体材料（如晶圆）进行研磨抛光，以实现材料表面的平坦化处理，为后续的半导体器件制造工序（如光刻、蚀刻等）提供高质量的平整表面。
2. 设备应用：
· 半导体集成电路制造：在半导体芯片的生产过程中，用于对晶圆进行平坦化抛光，确保晶圆表面的平整度和光洁度，满足芯片制造中对多层结构和精细线路的要求，例如在逻辑芯片、存储芯片等的制造中，CMP 是实现高性能芯片的重要工艺环节。
· 其他电子元件制造：对于一些对表面平整度要求较高的电子元件，如光电器件、MEMS 器件等，该化学机械抛光机也可用于其制造过程中的表面处理，提升元件的性能和可靠性。
3. 设备特点：
1. 该化学机械抛光机可用于各类半导体集成电路、氧化物、金属、STI、SOI等产品的CMP平坦化抛光。 通过更换抛光头可兼容4、6、8英寸晶圆
2. 系统功能：手动上下片，程序自动进行抛光，配有终点监测装置，配置半自动loading & unloading托盘系统，8寸规格，方便8寸晶圆上下片
3. 抛光数据监测：具有摩擦力监测功能
4. 配备红外温度计实时监测抛光过程中抛光垫表面温度
4. 产品参数：
1. 抛光盘直径≥20inch(508mm) 转速范围：30-200rpm
2. 抛光头wafer加压方式：气囊加压，带有背压功能
3. wafer压力控制范围：70-500g/cm2
4. 保持环压力控制范围：70-700g/cm2
5. 抛光头转速范围：30-200rpm 摆动幅度：±10mm
6. 抛光液供应系统：3个可调流量蠕动泵供液，3路独立的抛光液通道，滴液位置可调
7. 配置摩擦力&温度终点监控系统：含专用监测软件，带有End point detection功能
8. 控制系统：PC工控机控制，触摸屏操作，可存储20个加工程序，加工程序最多可设6个不同加工阶段
9. 均匀性 (1sigma,EE(Edge Exclusion):5mm)
片内非均匀性WIWNU≤5%
片间非均匀性WTWNU≤5%
实际参数可能会因设备的具体配置和定制需求而有所不同。
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1年
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