基本配置 | W600mm×D800mm×H1700mm(含富马伦,不含报警灯) |
气体配置 | 质量流量计2气路 (可选装多路气体) |
真空计 | 皮拉尼真空计 |
外部连接 | AC380V或AC200V/16A,6mm处理气体接口,10mm排气接口 |
真空舱体 | 优质不锈钢方型W390 mm×D400 mm×H400mm |
托盘 | 不锈钢托盘W 340 mm×D 340 mm×H 1mm(1-4层) |
电极 | 高效一对一网状电极 |
控制系统 | 上位触摸屏+下位PLC |
射频发生器 | 13.56MHz射频发生器 600W |
真空泵 | 莱宝油泵 D30C (30m3/h)或选配无油干泵 |
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