主要优点
吞吐量和每片晶圆拥有成本
批量配置中的单片性能,可实现出色的外延层质量
兼容硅晶圆厂的自动化技术支持碳化硅电源市场加速增长
产品特点
带热晶圆转移的行星式反应器
在生长室中高效利用气体
晶圆级温度控制
晶圆盒到晶圆盒处理
快速外延处理
8x150 mm 配置,单晶圆旋转
AutoSat功能,确保批次内的均匀性
SECS-GEM工厂接
主要优点
吞吐量和每片晶圆拥有成本
批量配置中的单片性能,可实现出色的外延层质量
兼容硅晶圆厂的自动化技术支持碳化硅电源市场加速增长
产品特点
带热晶圆转移的行星式反应器
在生长室中高效利用气体
晶圆级温度控制
晶圆盒到晶圆盒处理
快速外延处理
8x150 mm 配置,单晶圆旋转
AutoSat功能,确保批次内的均匀性
SECS-GEM工厂接口