1/1

化合物半导体沉积系统

报价 面议

品牌

爱思强

型号

AIX G5 WW C

产地

欧洲德国

应用领域

暂无

主要优点

吞吐量和每片晶圆拥有成本
批量配置中的单片性能,可实现出色的外延层质量
兼容硅晶圆厂的自动化技术支持碳化硅电源市场加速增长
产品特点
带热晶圆转移的行星式反应器
在生长室中高效利用气体
晶圆级温度控制
晶圆盒到晶圆盒处理

快速外延处理
8x150 mm 配置,单晶圆旋转
AutoSat功能,确保批次内的均匀性
SECS-GEM工厂接
主要优点
吞吐量和每片晶圆拥有成本
批量配置中的单片性能,可实现出色的外延层质量
兼容硅晶圆厂的自动化技术支持碳化硅电源市场加速增长
产品特点
带热晶圆转移的行星式反应器
在生长室中高效利用气体
晶圆级温度控制
晶圆盒到晶圆盒处理

快速外延处理
8x150 mm 配置,单晶圆旋转
AutoSat功能,确保批次内的均匀性
SECS-GEM工厂接口


售后服务

60天

1年

安装调试现场免费培训

查看全部
发布心得活动

暂无评论,点击发布评论

化合物半导体沉积系统信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供,如您想了解更多关于化合物半导体沉积系统报价、型号、参数等信息,深圳市矢量科学仪器有限公司客服电话:400-860-5168转5919,欢迎来电或留言咨询。

相关产品