1.产品概述:
Veeco的Propel™HVMGaNMOCVD系统被设计为一种大批量制造单晶圆反应器簇系统,适用于基于GaN的功率、射频和光子器件。采用单晶圆反应器平台,能够在150和200毫米晶圆上产生高质量外延膜性能,以实现均匀性、可重复性和良率。PropelHVM系统可配置多达6个模块化集群室,以实现最大的生产力和灵活性,是客户、铸造厂或IDM业务的理想选择。
2.产品优势:
单晶圆反应器基于VeecoTurboDisc®设计,采用突破性技术,包括IsoFlange™和SymmHeat™,可在整个晶圆上提供层流和均匀的温度分布。客户可以轻松地将工艺从Veeco的单晶圆反应器Propel和K465i™系统转移到PropelHVMGaNMOCVD平台,以实现快速开发到生产周期.
Veeco的Propel™HVMGaNMOCVD系统被设计为一种大批量制造单晶圆反应器簇系统,适用于基于GaN的功率、射频和光子器件。采用单晶圆反应器平台,能够在150和200毫米晶圆上产生高质量外延膜性能,以实现均匀性、可重复性和良率。PropelHVM系统可配置多达6个模块化集群室,以实现大的生产力和灵活性,是客户、铸造厂或IDM业务的理想选择。
单晶圆反应器基于VeecoTurboDisc®设计,采用突破性技术,包括IsoFlange™和SymmHeat™,可在整个晶圆上提供层流和均匀的温度分布。客户可以轻松地将工艺从Veeco的单晶圆反应器Propel和K465i™系统转移到PropelHVMGaNMOCVD平台,以实现快速开发到生产周期。
60天
1年
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