【分享】扫描电镜系统

谢谢，希望有大侠能提供更详细的资料，我刚接触这个，资料网上很难找。

短小，精焊，不错！

学习啦,很好的内容.

X射线能谱仪全称为能量分散谱仪(EDS)．
目前最常用的是Si(Li)X射线能谱仪，其关键部件是Si(Li)检测器，即锂漂移硅固态检测器，它实际上是一个以Li为施主杂质的n-i-p型二极管。
以Si(Li)检测器为探头的能谱仪实际上是一整套复杂的电子学装置。
Si(Li)能谱仪的优点：
(1)分析速度快 能谱仪可以同时接受和检测所有不同能量的X射线光子信号，故可在几分钟内分析和确定样品中含有的所有元素，带铍窗口的探测器可探测的元素范围为₁₁Na~₉₂U，20世纪80年代推向市场的新型窗口材料可使能谱仪能够分析Be以上的轻元素，探测元素的范围为₄Be~₉₂U。
(2)灵敏度高 X射线收集立体角大。由于能谱仪中Si(Li)探头可以放在离发射源很近的地方(10㎝左右)，无需经过晶体衍射，信号强度几乎没有损失，所以灵敏度高(可达10⁴cps/nA，入射电子束单位强度所产生的X射线计数率)。此外，能谱仪可在低入射电子束流(10^-11A)条件下工作，这有利于提高分析的空间分辨率。
(3)谱线重复性好。由于能谱仪没有运动部件，稳定性好，且没有聚焦要求，所以谱线峰值位置的重复性好且不存在失焦问题，适合于比较粗糙表面的分析工作。
能谱仪的缺点：
(1)能量分辨率低，峰背比低。由于能谱仪的探头直接对着样品，所以由背散射电子或X射线所激发产生的荧光X射线信号也被同时检测到，从而使得Si(Li)检测器检测到的特征谱线在强度提高的同时，背底也相应提高，谱线的重叠现象严重。故仪器分辨不同能量特征X射线的能力变差。能谱仪的能量分辨率(130eV)比波谱仪的能量分辨率(5eV)低。
(2)工作条件要求严格。Si(Li)探头必须始终保持在液氦冷却的低温状态，即使是在不工作时也不能中断，否则晶体内Li的浓度分布状态就会因扩散而变化，导致探头功能下降甚至完全被破坏。

以上是我了解的资料。。。仅供参考：）

辛苦了。
冷却Si(Li)的是液氮，应该没有用液氦的。现在有很多厂家生产无液氮制冷能谱。大体可分为两类：晶体采用硅漂移技术(SDD)，俗称电制冷,现在也比较热门；以及晶体仍采用Si(Li)的,但通过脉冲压缩制冷，如Oxford的Drycool,还获得了英国女王奖。波谱的分辨率5eV,太笼统了，具体指那个元素呢？EDS一般说Mn, 但波谱对Mn肯定达不到5eV吧。

资料不是很全呀，有没有相关的电子书可供下载?

新手，学习中