CCD固态检测器原用于ICP,但也有些原子吸收仪采用,如PE、耶拿等,它是通过电子的存储和转移来检测信号的,其量子效率高,基于对检测信号的测量方式不同,它相对PMT(光电倍增管)来说在配备连续光源和大色散的中阶梯光栅时可以提高测定的线性范围5-6个数量级,也可以同时进行多元素分析。CCD检测器在整个光谱分析区范围内有比较高的灵敏度,更适合微弱光的检测,但它对弱光的检测是基于长时间积分的基础上的,因为它是一种积分型检测器。由于它具有很低的分布电容,因此其读出噪声较低,暗电流(受温度影响,需要制冷恒温环境)也明显比PMT的低。