扫描电镜（SEM/EDS）
jeansruler
第1楼2008/05/08
我对Spot Size的理解是：当spot size从小变大时，电子束越来越集中，因而能量会更高（相当于15kv，20kv等电压之间的一个微调），扫描出的照片清晰度更高。缺点是spot size越大，能够做到清晰聚焦的放大倍数就越低，放大倍数再高就无法聚焦好了。我做电镜的时间也不长，欢迎专家们不吝指教，深入探讨。
guanjun19860820
第2楼2008/05/08
哈哈!当spot size从小变大时，电子束应该是越来越不集中吧?jeansruler 发表:我对Spot Size的理解是：当spot size从小变大时，电子束越来越集中，因而能量会更高（相当于15kv，20kv等电压之间的一个微调），扫描出的照片清晰度更高。缺点是spot size越大，能够做到清晰聚焦的放大倍数就越低，放大倍数再高就无法聚焦好了。我做电镜的时间也不长，欢迎专家们不吝指教，深入探讨。
jiagege
第3楼2008/05/08
有时间去学习一下
starfae
第4楼2008/05/09
同意楼上看法spot size从小变大时，电子束是越来越不集中．spot size越小电子束越集中，能量就越高，相对应检测样品深度越大．二次电子＋背散射电子所成的图像应该越清晰．
rodgerfei
第5楼2008/05/09
spot size，顾名思义，就是聚焦电子束的尺寸越小，电子束越细，在样品表面扫描时分辨率越高，但激发的二次电子等越少，相同的亮度和对比度时，反映在图像上是暗且sharp反之，则分辨率低，反映在图像上则是亮且柔和
第6楼2008/05/09
你的想法和我是一样的!sharp是什么意思?
第7楼2008/05/09
不好表达，应该就是锐度高吧总之意思就是细节上清晰很多。
第8楼2008/05/09
能否给我再说的详细一点！谢谢！你是那个公司的？
jeolzxj
第9楼2008/05/11
看这个就比较清楚了。
第10楼2008/05/11
你的图的意思是束斑越大，打到样品上的电子束直径越宽，电子束越不集中？
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