扫描电镜(SEM/EDS)
小不董
第1楼2008/06/11
我问日本电子的工程师,他们也不知道,后来问日本那里的工程师,也没有给出个明确答案。一般大概3-4nm
guanjun19860820
第2楼2008/06/22
我也很想知道!
天下至道
第3楼2008/12/24
15ma,60s 镀金 10nm,日立工程师说的
qqbrotton
第4楼2008/12/24
与样品放置的位置有关,在确定的位置和电流下,与时间关系有一条曲线
春天的桃子
第5楼2008/12/24
不超过10NM的
wildonkey
第6楼2008/12/25
貌似和样品高度也有关系,不同厂家的产品也有一定差别,真空度的高低是不是也有影响?
heihei727
第7楼2009/01/12
好像镀金厚度与电流,时间有关的,各厂家应该有说明个人感觉好像也与样品表面到金靶距离有关吧,不知是否准确
prodigy38
第8楼2009/01/15
看一下说明书, 里面应该有个线形图, 可根据时间和电流来决定膜厚
xcz111
第9楼2009/01/17
日历工程师胡扯,大该在3-4nm
第10楼2009/01/17
电流越大,溅射下来的金颗粒越大,在同样的时间下就越厚。
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