【讨论】有谁做过非金属材料的EBSD研究？？？

我最近在做铝硅酸盐矿物的EBSD，效果还可以。关键步骤是最后一道抛光需要用SiO2溶胶抛光数小时。还有，导电碳膜厚度很讲究，镀1.5纳米比较合适。我们这里有两套EBSD系统，TSL-EDAX和HKL，扫描电镜分别为FEI DualBeam Nanolab 200和Philips XL30。
希望对你有所帮助。

兄弟你可以試一下噴金﹐

弱问一下 EBSD能做出晶体结构么 对样品有啥要求 必须要晶体么

原先只是耳闻说做EBSD抛光很麻烦，以后有机会自己动手做做。

喷金更不行了 只能喷碳

有好些天没上这个论坛了，今天上来看到有这么多留言，非常感谢。

谢谢xfsummerwind提供的信息，抛光可能跟不同的材料有关，你说的SiO2溶胶好像最近Baeurer比较推崇；另镀C膜比较难掌握，你说1.5nm比较好，想问一下是否有个范围，另你们的镀膜仪是怎样控制厚度的，好像通常的C棒加热一般不太容易精确控制；另外你说的FEI DualBeam nano lab 200跟FEI Nova NanoSEM 200有什么区别吗，应该也是热场发射的吧。

如golf所说，喷金不行，因为金的信号可能会掩盖了样品的信号。

C膜的厚度确实不容易精确控制，最好不要超过2.5nm，多摸索几次就知道镀膜条件了。镀膜后不仔细看还以为没镀上，太厚了就明显变黑了。FEI DualBeam nano lab 200是场发射的，只不过同时配有聚焦离子束切割功能。这个仪器的好处是如果你抛光后做不出EBSD，可以用聚焦离子束精磨表面得到EBSD，效果还不错，但还是不如硅胶抛光效果好。