蓝莓口香糖
第5楼2009/10/25
电子枪偏转线圈在第一聚光镜之上,聚光镜偏转线圈在第二聚光镜之下,就是我们通常用的beam shift/tilt。在两套线圈都不起作用的情况下,电子枪如果相对于透镜光轴在左侧偏离Lg1,经第一聚光镜成像后会在右侧出现偏离Rc1,再经第二聚光镜成像后会在左侧出现偏离Lc2。1-5合轴就是为了让这些偏离都为0。显然电子枪偏转线圈消除Lg1。最终直接看到的光束的偏离是Lc2。Lg1消除之后,按说Rc1和Lc2也应该是0。但实际上Lc2可能不是0,因为两个透镜之间可能会有一些偏离,所以需要聚光镜偏转线圈对Lc2做进一步消除。对于同样的Lg1,光斑5比光斑1状态下的Rc1小,而聚光镜偏转线圈在两个状态下使光束移动的程度相同,换句话说,光斑5的状态下,聚光镜偏转线圈在光束移动中的比重更大了,所以这个时候对它进行调整。在光斑1状态下,对电子枪偏转进行调整,反复几次,就可以做到很好的合轴。
这个过程说起来罗嗦,而且还不容易理解。其实就是个几何光学,不复杂。物镜合轴是通过电压中心或者电流中心实现的。中间镜和投影镜的合轴以前也有,在现代电镜中已经省略,因为工厂的加工精度对这部分器件来说已经足够高了。偶尔需要调整,也是可以的。OM透镜在低倍模式下代替物镜成像,或者在中低倍下起图像传递的作用,在中高倍下不工作。CM透镜主要控制光束会聚角,CM不是物镜前场。2010的说明书写得非常好,里面有很详细的光路图和电镜结构图。
黑洞
第9楼2009/10/29
我们通过SHIFT-X.Y“平移“电子束主要是改变第一聚光镜偏转线圈- CL A1.平移应当始终使电子束的入射方向与物镜的光轴相平行,但只改变CL A1,电子束在这个地方将发生一个角度的偏转,这时的光会被移动但它将不是与光轴平行的状态了。而为了保持平行的状态,必须在第二聚光镜偏转线圈(CL A2)这里再给他反方向偏转回同一角度.这样就可以实现电子束平行于光轴的平移了.
而我们通过DEF-X,Y"倾转"电子束主要是改变第二聚光镜偏转线圈- CL A2。同样,如果只改变CL A2 电子束会被偏转于光轴形成一定的夹角,但这是电子束的位置也会发生改变,而为了不让电子束在倾转时发生移动我们就要同时改变CL A1,来补偿CL A2带来的电子束移动.
而所有这些补偿都是借助联动比合轴进行确认并通过电路在我们做平移和倾转时来自动实现的.
在做中心暗场像时我们需要倾斜电子束,将需要的衍射斑移到中心,而这也同时破坏了电压和电流中心.所以一般电镜都配有DARK TILT & BRIGHT TILT 以方便两种模式的切换,而在暗场下倾转的电子束不会影响到明场.