制样蚀刻

我们知道电子束打到试样中时,在试样内部是一个液滴状的空间.那么如何知道是这个形状的呢?我们用PMMA这个有机物,在SEM下用电子束轰击,从而破坏了被照射部位有机物的键结构,然后再将这个试样放入溶剂中,那么被电子束影响到的区域就会被溶解掉了,这样我们做个截面就可以看到电子束在试样中的空间形状了.

这就是蚀刻吗？感觉蚀刻应该是在观察前的样品预处理，可以更好的进行特定的分析（不知道分析什么，呵呵）。不知对不对？请大侠指点！

呵呵,我也不太清楚，感觉应该差不多吧

显示某些相的形态，如观察生长台阶

这个是做EDS的电子束形状用的一种方法。见过类似的图片。不过楼主说的可能不是这个。

是的，一般用来做高分子的刻蚀，可以看球晶之类的东西吧。没有用过，只是听说，一般的喷金设备都有刻蚀一档的吧？

呵呵，看来用过这个功能的不多啊！

刻蚀的概念是什么呢？

是啊，这个概念也很模糊啊，不过好像很多喷镀仪都有刻蚀的功能.是不是就是用离子束在样品上打掉表面的材料，露出样品较深层的材料供观察呢？（猜的，请大侠们指教）。