sem能做元素定性定量分析吗？做到什么程度？

斑竹们说句话吧，我刚接触仪器，不懂，手头还有个样品要做分析，不知道怎么定方案呢

sem不能做元素分析

带能谱否？能谱当然能做一些特定范围内元素的定性和定量了。

当然没有化学方法或光谱做的准了，但如有标样的话，结果还是比较令人满意的，碳是做不准的。

电子显微镜也只是显微镜而已，只能做形貌分析，无法作成分的定性和定量。但电镜加上能谱分析系统（EDS）或者波谱探测器(WDS)，就可以做元素的定性和定量了。一般来说，EDS分析范围在B-U，或者Be-U。精确度不是很高，大概在千分之几吧。

WDS用的较少，应该分析范围更广，或者能做全部元素的定性和定量。精确度很高，但操作起来比较麻烦。

谢啦，今天把样品拿去做了，eds效果还可以，配合xrd基本可以确定样品了，谢谢大家

坚决抵制波谱，那玩意儿贵，分辨率比能谱好，但是速度好慢，如果钱多得烧的慌就买吧

EDS基本上只能定性，定量根本一点不准！我就是做SEM-EDS的！

能谱还是很有用的, 只是能谱定量分析对样品的要求比较高: 样品要平整, 导电良好,质地密实等. 否则都会影响结果. 金属, 陶瓷, 玻璃, 矿物等材料比较适合能谱定量的. 当然千万不能把能谱的微区的定量和化学分析方法相提并论啦.