应助达人
項目 内容
放電 方式 ダイオード放電
電極形状 リング(63mm)
電圧 DC2.5kV、0.5kV
電流 DC0~30mA
コーティングレート(例)(注) Au 10(nm/min)
試料 最大直径 50mm
試料高さ 15mm
ロータリーポンプ 50(L/min)
所要電源 単相AC100V(±10%)1kVA
大きさ 幅×奥行き×高さ 350×440×307mm
重さ 約29kg
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