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【原创】菜鸟求疑：束流、探针电流、束斑尺寸的区别？

jinshucailiao

2010/11/11

扫描电镜（SEM/EDS）

我是电镜操作的一名菜鸟，用的是日本电子的电镜。
最近老是被束流、探针电流和束斑尺寸三个概念搞混淆。

我有看到文献说：束流是电子束的电子流；探针电流是聚焦电子束中的电流。
那在日本电子的电镜里，束流指的是L.C.值吗？
拍电镜照片时，调节束流和束斑分别对图像会产生什么影响？

但在做能谱时，有人告诉我：日本电子的调束流就是调束斑（即SS），那是说束流和束斑是一个概念了吗？

恳请帮助！谢谢！

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驰奔

第1楼2010/11/11

束流：电子枪发射的电子束电流，在电子束几何光柱中的不同部位，束流的形状或者电流值不同。但在操作上束流特指电子枪发射总电流的大小

探针电流：电子束几何光柱最末端，和样品接触的电子束通常称为电子探针，其电流值的大小叫做探针电流。

束斑，spot：是指电子束经过电磁透镜聚焦，在样品上扫描的最小电子束直径。
通常主要通过调节聚光镜焦距来改变束斑尺寸，在操作上，习惯上把调节聚光镜电流称为spot adjust，简称Spot 或者束斑。

这三个概念有内在联系。

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