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如何设置能谱线扫结果按成分百分比显示(TIA软件)

透射电镜(TEM)

  • 在STEM模式下做能谱的线扫给出的都是计数率的曲线,在TIA软件里面进行定量以后,给出的是各个元素的计数率(Counts)随位置的变化曲线(如图)。请问能否设置成按成分百分比(质量或原子分数)的形式显示。
    因为计数率明显是受样品厚度影响的。简单用计数率表示成分的变化感觉不太合适,不知道各位是怎么理解这个问题的。

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  • longwood

    第1楼2011/12/18

    EDX?这个基本没戏。TIA这个线扫描或面扫描只能给出定性的比较。
    定量的只能一个点一个点手动。
    另外TIA也不能输入实验的k factor,只能用程序自带的计算出的,所以不太准。

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  • jwdeng

    第2楼2011/12/18

    既然线扫是一个一个点采集出来的,而且每一个点的成分都可以算出来,按理说程序本身给出成分百分比的曲线来应该很容易。
    不知道是TIA软件没有这个功能还是没有设置好?请高手指点。

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  • longwood

    第3楼2011/12/18

    那就要问FEI了,我研究了几天的结果是没有这个功能。所以我都是一个点一个点的算,差点没累趴下。目前唯一的进展是将谱导成数据格式了(还是用了别人的IDL的script),看看其他软件能不能处理。

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  • 蓝莓口香糖

    第4楼2011/12/18

    线扫的信号只有能量窗口里那一小部分,不能用于精度较高的定量计算。要得到沿线各点的成分,需要每个点上都保存一个完整的谱,那是spectrum imaging功能。

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  • longwood

    第5楼2011/12/19

    谱是完整的谱,是spectrum imaging扫出来的,但是定量分析时TIA就是只能一个点一个点用手点若干步,即使每个点步骤都相同。或许他们认为定量就必须一个谱一个谱的检查,从peak finding到拟合必须人工检查?

    蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:线扫的信号只有能量窗口里那一小部分,不能用于精度较高的定量计算。要得到沿线各点的成分,需要每个点上都保存一个完整的谱,那是spectrum imaging功能。

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  • 蓝莓口香糖

    第6楼2011/12/19

    EDS要实现全自动可能有点困难,机器不能自己选元素,除非整个扫描范围内元素种类没变化。

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  • 小M

    第7楼2011/12/19

    应助达人

    TIA连能谱定量wt% or at%的功能都没有?如果能谱仪不集成到TIA,倒还是可以

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  • jwdeng

    第8楼2011/12/20

    请大家都来研究一下。不然做个线扫只能给出个各个元素的计数率分布感觉意义打了折扣。
    有人说好像可以设置,但是不知道在哪里怎么设置。

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  • byb7777

    第9楼2012/01/04

    我也想知道怎么弄,自己没电镜,去别人那里做得自己说明白了,要不都没法做

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  • yueyahappy

    第10楼2015/07/30

    请问您这个问题后来解决了么?我现在遇到同样的问题T-T

    jwdeng(jwdeng) 发表: 在STEM模式下做能谱的线扫给出的都是计数率的曲线,在TIA软件里面进行定量以后,给出的是各个元素的计数率(Counts)随位置的变化曲线(如图)。请问能否设置成按成分百分比(质量或原子分数)的形式显示。
    因为计数率明显是受样品厚度影响的。简单用计数率表示成分的变化感觉不太合适,不知道各位是怎么理解这个问题的。

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