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请教各位老师气体质量流量空气器(MFC)的问题,多谢!

气体检测

  • 各位老师好:

    我想请教一下气体质量流量控制器的问题。前段时间对其工作原理有了一点了解,其检测方法是根据气体的热力学性质。有几个问题向咨询各位老师一下。
    (1)MFC的读数是气体的流速。不同气体压力下,相同流速,从出口出来的气体的摩尔数是不是不一样的。也就是说,在混合气体的时候,要保持混气各组分比例不变,不但要保持流速比固定,气体的压力也要固定,否则结果会发生变化。这点我还没有想清楚。
    (2)是不是不同种类的气体对应不同的MFC。就是说用于测N2的MFC(0-5scc/min),不能用于CO2,即便量程相同。
    (3)除了气体要除颗粒和干燥外,还有没有别的注意事项。
    (4)哪个牌子的MFC比较好,如果买国产的,有没有什么牌子不错的。

    多谢各位了!
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  • 泉泉

    第1楼2012/02/29

    这个是采样用的吗?完全不了解呀。

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  • 借我一年

    第2楼2012/02/29

    国产的七星电子的貌似不错,你可以看看,不知道是不是你想要的那种

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  • 借我一年

    第3楼2012/02/29

    还有北京堀场汇博也生产MFC ,看看是不是你要的那种

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  • su0310

    第4楼2012/03/02

    (1)质量流量计是测质量流速后转化为体积流速。所以不同气体压力下,相同流速,从出口出来的气体的摩尔数是一样的。也就是说,在混合气体的时候,要保持混气各组分比例不变,只要保持流速比固定,气体的压力无所谓。
    (2)用于测N2的MFC(0-5scc/min),不能直接用于CO2,即便量程相同。 其实要看气体分子量,不通种类的气体质量流量计经过转化后可以通用。
    (3)类型(常开 常闭),通用性能指标(线性 重复性 精度 响应时间 控制范围),使用环境(温度 湿度 大气压),出厂校准标定情况(气体种类 温度 大气压),使用过程中注意进气口最大耐压,进气口和出气口之间的压差,通过气体的特殊性(腐蚀 纯度),最重要是电源接错会造成不可逆的损坏。
    (4)...

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  • 容百川

    第5楼2012/03/02

    (1)不同气体压力下,相同流速,从出口出来的气体的摩尔数不一样的。
    保持成分比例不变,跟压力变化没关系。气体的成分配比是固定了的。
    压力、温度只是膨胀、压缩的问题,成分配比不变。

    (2)跟介质和接触材料有关系,一般你说的两种气体没问题。
    (3)不要腐蚀、吸附性强
    (4)有人推荐了,QIXING吧

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  • pietrolou

    第6楼2012/03/11

    首先要明确一点,MFC = Mass Flow Controller 质量流量控制器。

    (1)各家的MFC的入口压力一般要求在2-3Bar,出口一般是常压状态。如果入口压力过高或过低,会使MFC的流量偏离正常的校准曲线。在使用过程中,应当保证入口压力不变。
    (2)MFC的原理是利用气体的热力学效应计算流量,理论上在恒压下气体的比热容与分子量相关。所以,对于标称适用N2的MFC,将其用于CO2流体,其流量叫正常值会偏差较大,需要重新做标准曲线。当然,ls说的密封圈也是需要注意的,现在大都是viton质地。
    (4)用过的MFC里,MKS的最好,Brucks的差一点,有个P开头的牌子也不错。国产的七星华创还不错,做工略差,当然价格也只有brucks的一半。

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  • thv

    第7楼2012/03/12

    非常感谢各位英雄的回复。在下学到很多东西。

    是不是可以这么理解,质量流量控制,就是控制的气体的质量流量,就是单位时间某气体的摩尔数。机器的单位是sccm后者slm,这些都是标况下的体积单位,压强和温度都确定的情况,实际就是质量单位吧。

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  • thv

    第8楼2012/03/12

    多谢了! 不知道您知不知道aalborg这个牌子的MFC怎样。

    pietrolou(pietrolou) 发表:首先要明确一点,MFC = Mass Flow Controller 质量流量控制器。

    (1)各家的MFC的入口压力一般要求在2-3Bar,出口一般是常压状态。如果入口压力过高或过低,会使MFC的流量偏离正常的校准曲线。在使用过程中,应当保证入口压力不变。
    (2)MFC的原理是利用气体的热力学效应计算流量,理论上在恒压下气体的比热容与分子量相关。所以,对于标称适用N2的MFC,将其用于CO2流体,其流量叫正常值会偏差较大,需要重新做标准曲线。当然,ls说的密封圈也是需要注意的,现在大都是viton质地。
    (4)用过的MFC里,MKS的最好,Brucks的差一点,有个P开头的牌子也不错。国产的七星华创还不错,做工略差,当然价格也只有brucks的一半。

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  • pietrolou

    第9楼2012/03/12

    没用过,不知道具体情况如何。

    thv(thv) 发表:多谢了! 不知道您知不知道aalborg这个牌子的MFC怎样。

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  • thv

    第10楼2012/03/12

    谢了!那您知道FATHOM这个牌子么,叫费斯姆的。

    pietrolou(pietrolou) 发表:没用过,不知道具体情况如何。

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