su0310
第4楼2012/03/02
(1)质量流量计是测质量流速后转化为体积流速。所以不同气体压力下,相同流速,从出口出来的气体的摩尔数是一样的。也就是说,在混合气体的时候,要保持混气各组分比例不变,只要保持流速比固定,气体的压力无所谓。
(2)用于测N2的MFC(0-5scc/min),不能直接用于CO2,即便量程相同。 其实要看气体分子量,不通种类的气体质量流量计经过转化后可以通用。
(3)类型(常开 常闭),通用性能指标(线性 重复性 精度 响应时间 控制范围),使用环境(温度 湿度 大气压),出厂校准标定情况(气体种类 温度 大气压),使用过程中注意进气口最大耐压,进气口和出气口之间的压差,通过气体的特殊性(腐蚀 纯度),最重要是电源接错会造成不可逆的损坏。
(4)...
pietrolou
第6楼2012/03/11
首先要明确一点,MFC = Mass Flow Controller 质量流量控制器。
(1)各家的MFC的入口压力一般要求在2-3Bar,出口一般是常压状态。如果入口压力过高或过低,会使MFC的流量偏离正常的校准曲线。在使用过程中,应当保证入口压力不变。
(2)MFC的原理是利用气体的热力学效应计算流量,理论上在恒压下气体的比热容与分子量相关。所以,对于标称适用N2的MFC,将其用于CO2流体,其流量叫正常值会偏差较大,需要重新做标准曲线。当然,ls说的密封圈也是需要注意的,现在大都是viton质地。
(4)用过的MFC里,MKS的最好,Brucks的差一点,有个P开头的牌子也不错。国产的七星华创还不错,做工略差,当然价格也只有brucks的一半。
thv
第8楼2012/03/12
多谢了! 不知道您知不知道aalborg这个牌子的MFC怎样。