仪器信息网APP
选仪器、听讲座、看资讯

求教喷金时间问题

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 新买的扫描电镜,正在摸索使用,请教各位老师:
    针对不同材料,如何调节离子溅射仪的电流和时间?
    喷金的电流和时间与喷金的厚度有没有对应的关系,如电流20mA,时间60s,镀层厚度X纳米
    +关注 私聊
  • 小M

    第1楼2012/04/25

    应助达人

    有对应关系的,离子溅射仪的说明书上应该有,要么是曲线,要么是表格

    参数没有硬性规定的,都是经验性的,可以摸索出一个一般值,没有具体要求,就用这个参数。如果有要厚点或者薄点,再根据具体情况调整。

0
    +关注 私聊
  • zhadaoan

    第2楼2012/04/26

    有关系,还有真空度跟金的颗粒大小还有关系,如楼上所说,说明书上有相关曲线,可以看看,不过随着时间推移,会变得越来越不准,最终归还是要自己摸索。
    另外得看是什么材料,我之前拍的是聚合物,比较软,孔隙率也比较高,当时采用的就是高真空,长时间镀的,效果还不错~~

    cui_wg(cui_wg) 发表:新买的扫描电镜,正在摸索使用,请教各位老师:
    针对不同材料,如何调节离子溅射仪的电流和时间?
    喷金的电流和时间与喷金的厚度有没有对应的关系,如电流20mA,时间60s,镀层厚度X纳米

0
0
    +关注 私聊
  • yangyouran

    第4楼2012/05/11

    溅射仪的说明书上有溅射速率,你可以根据那个计算出喷金的厚度。一般以观察样品时不荷电为标准确定喷金厚度。平时我用日立的溅射仪喷金,金颗粒直径约4nm左右,若喷的较厚,在观察倍数达到5万倍以上时,可以清楚的看到金颗粒

0
    +关注 私聊
  • 小M

    第5楼2012/05/12

    应助达人

    有这样的图片吗?镀金之后高倍下能看到金颗粒的。

    yangyouran(yangyouran) 发表:溅射仪的说明书上有溅射速率,你可以根据那个计算出喷金的厚度。一般以观察样品时不荷电为标准确定喷金厚度。平时我用日立的溅射仪喷金,金颗粒直径约4nm左右,若喷的较厚,在观察倍数达到5万倍以上时,可以清楚的看到金颗粒

0
    +关注 私聊
  • unht

    第6楼2012/05/15

    无万倍就可以看到金颗粒,你那金颗粒得多大啊

0
    +关注 私聊
  • ventyxu

    第7楼2012/05/18

    电流和时间都可以设置,喷金的电流和时间与喷金的厚度有关系。说明书上面有详细的资料。

    cui_wg(cui_wg) 发表:新买的扫描电镜,正在摸索使用,请教各位老师:
    针对不同材料,如何调节离子溅射仪的电流和时间?
    喷金的电流和时间与喷金的厚度有没有对应的关系,如电流20mA,时间60s,镀层厚度X纳米

0
    +关注 私聊
  • eric7316

    第8楼2012/08/01

    一般来说,用于扫描样品时金属的厚度为100-300A,经验的厚度测定由下面的公式得到:
    d=KIVt
    其中d是以“埃”为单位的镀膜厚度。
    K是常数,取决于溅射金属和所充气体,此时靶与样品之间的距离大约是5cm。
    I是等离子流的单位mA。
    V是以“kV”为单位所施电压。
    t是以秒为单位的时间。
    采用金靶和氩气时K为0.17,如用空气K为0.07.因此对于典型的溅射,如:I为8mA,t为100秒,则:d=KIVt=0.17*8*100=136A,即每秒1.36A。

1
    +关注 私聊
  • irfan

    第9楼2013/04/23

    K is constant, but i am confuse about "the distance between the target and the sample is about 5cm". Can u give me more detail about K constant and V (kV) units os applied voltage.

0
    +关注 私聊
  • sept

    第10楼2013/04/24

    如果做能谱,尽量少喷点Au,比如40s以内。但前提是样品导电。

0
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
举报帖子

执行举报

点赞用户
好友列表
加载中...
正在为您切换请稍后...