扫描电镜(SEM/EDS)
小M
第1楼2012/04/25
有对应关系的,离子溅射仪的说明书上应该有,要么是曲线,要么是表格参数没有硬性规定的,都是经验性的,可以摸索出一个一般值,没有具体要求,就用这个参数。如果有要厚点或者薄点,再根据具体情况调整。
zhadaoan
第2楼2012/04/26
有关系,还有真空度跟金的颗粒大小还有关系,如楼上所说,说明书上有相关曲线,可以看看,不过随着时间推移,会变得越来越不准,最终归还是要自己摸索。另外得看是什么材料,我之前拍的是聚合物,比较软,孔隙率也比较高,当时采用的就是高真空,长时间镀的,效果还不错~~
cui_wg
第3楼2012/04/28
谢谢大家!!
yangyouran
第4楼2012/05/11
溅射仪的说明书上有溅射速率,你可以根据那个计算出喷金的厚度。一般以观察样品时不荷电为标准确定喷金厚度。平时我用日立的溅射仪喷金,金颗粒直径约4nm左右,若喷的较厚,在观察倍数达到5万倍以上时,可以清楚的看到金颗粒
第5楼2012/05/12
有这样的图片吗?镀金之后高倍下能看到金颗粒的。
unht
第6楼2012/05/15
无万倍就可以看到金颗粒,你那金颗粒得多大啊
ventyxu
第7楼2012/05/18
电流和时间都可以设置,喷金的电流和时间与喷金的厚度有关系。说明书上面有详细的资料。
eric7316
第8楼2012/08/01
一般来说,用于扫描样品时金属的厚度为100-300A,经验的厚度测定由下面的公式得到: d=KIVt其中d是以“埃”为单位的镀膜厚度。K是常数,取决于溅射金属和所充气体,此时靶与样品之间的距离大约是5cm。I是等离子流的单位mA。V是以“kV”为单位所施电压。t是以秒为单位的时间。采用金靶和氩气时K为0.17,如用空气K为0.07.因此对于典型的溅射,如:I为8mA,t为100秒,则:d=KIVt=0.17*8*100=136A,即每秒1.36A。
irfan
第9楼2013/04/23
K is constant, but i am confuse about "the distance between the target and the sample is about 5cm". Can u give me more detail about K constant and V (kV) units os applied voltage.
sept
第10楼2013/04/24
如果做能谱,尽量少喷点Au,比如40s以内。但前提是样品导电。
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