扫描电镜（SEM/EDS）
daqiang
第1楼2006/05/10
打电话给厂家咨询
天黑请闭眼
第2楼2006/05/10
查漏吧，哪里漏气了？
ryjysu
第3楼2006/05/11
谢谢各位了！
wdliu_1
第4楼2006/05/11
高真空都抽不上去，当然没有电子束。原因可能有两个，一是哪个部位漏气了，另外你检查一下扩散泵，是不是电炉丝或连线断掉了。
第5楼2006/05/11
但是真空图上的扩散泵的灯是亮的啊
annelugel
第6楼2006/05/11
真空度没到,肯定没法加高压的。如果泵都没问题，就检查下是否有漏气吧。两个地方，样品室和枪体部分都要注意到。有一个地方漏高压都没法加的。检查方法也很简单，先连着抽3小时真空（高真空），然后放置8小时（不抽真空），看真空度是否会>250pa,如果>250PA,那不用怀疑，机器某部分漏气了。
sunnysky
第7楼2006/05/31
首先按楼上的办法查查有没有漏,如果没有的话,再查真空计的设定点是否漂移,再检查扩散泵油是否该换了
shuzheng
第8楼2006/07/26
不知你的问题解决没有?前几天我们的电镜也有类似问题,工程师建议把钨灯室下面的密封圈再涂些真空脂,试后果然可以.你可以试试.
netasp
第9楼2006/07/28
看看灯丝那里的密封圈，加点真空胶试试
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