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求教: 定量分析时修正方法的选择,有什么区别?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 使用EDS做定量分析时,修正方法共有ZFA PRZ K比等,三种的区别是什么,各有什么用途? 谢谢指教!!
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  • 德国工兵

    第1楼2006/07/04

    1.ZAF修正方法是三个系数的英文第一个字母(Z:原子序数 A:吸收系数 F:荧光系数)
    该方法现在基本已经淘汰,因为其对轻元素的定量修正不是很准:
    ZAF定量修正模型引入的近似和简化,对轻元素定量结果影响很大。超轻元素的深度分布函数、质量吸收系数还缺少数据,不同来源的数据相差较大。所以对超轻元素的定量还有许多问题
    2.Fi Lo Z (Sorry 不会输入希腊字母)
    该通过拟合X射线发生的实验数据得到的深度分布函数经验方程称为Fi(Lo z)函数)进行定量校正的计算方法。应用较广
    3.XPP修正
    牛津一家在使用的修正方法,是基于第二种修正方法改进了轻元素的修正方法,对轻元素定量修正有较好的表现。
    其实说白了所谓的这些方法其实就是长期的大量的样品实验,得出的经验公式而已。

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