总结COXEM.Beijing Office 驰奔 编辑(转载请注明出处)
对于一般的SE 图像,仔细考虑扫描电镜分辨率水平作为主要的操作目标,同时要考虑到信噪比。然而这不是说就一成不变:确实,操作者经常忽视扫描电镜的操作细节,只是抓紧时间干,这当然也无可非议。然而精确的操作的优点是,确切的知道仪器的能力范围,使得操作者可能发现仪器的故障或者缺陷。扫描电镜电子束斑直径能够通过理论计算出来,也可以通过实验方法校准。使用理论的方法,更容易囊括和评估工作距离WD,加速电压KV等参数的影响。在实验方法的情形中,聚光镜的缩小影响是主要的因素。COXEM.Beijing Office 驰奔 编辑(转载请注明出处)
附:COXEM.Beijing Office 驰奔 编辑(转载请注明出处)
探针直径的校准。COXEM.Beijing Office 驰奔 编辑(转载请注明出处)
fengyonghe
第1楼2014/04/24
在其他条件不变时,束斑大小直接决定了分辨率。物镜光阑选大,看似束斑线性增大,实则束斑减小。有下式:
i是束流,α是物镜半张开角。物镜光阑选大则半张开角变大,束斑直径变小,分辨率提高。这与光镜的数值孔径大则分辨率提高有相同的意义,也是由于α变大的原因。但是,同时景深变小,对非抛光面观察不利。如中低倍观察断口时不能选大的光阑,要照顾景深。否则就较模糊。很高倍数观察时经常选择很小的工作距离,这使得α增大很多,分辨率得到提高。同样景深变小,由于观察面积小,景深不是很重要。
上面的事形象点说,电子束通过大的物镜光阑聚焦到样品表面,他所走过的距离更长,需要更多的时间,在相同的聚焦力下,有机会聚焦成更小的束斑。
胖胖熊
第2楼2014/04/25
网上搜到一篇文章,跟您的观点刚好相反,等下发上来您看看
驰奔
第8楼2014/04/26
还真有钻研的..
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对于一般的SE 图像,仔细考虑扫描电镜分辨率水平作为主要的操作目标,同时要考虑到信噪比。然而这不是说就一成不变:确实,操作者经常忽视扫描电镜的操作细节,只是抓紧时间干,这当然也无可非议。然而精确的操作的优点是,确切的知道仪器的能力范围,使得操作者可能发现仪器的故障或者缺陷。扫描电镜电子束斑直径能够通过理论计算出来,也可以通过实验方法校准。使用理论的方法,更容易囊括和评估工作距离WD,加速电压KV等参数的影响。在实验方法的情形中,聚光镜的缩小影响是主要的因素。COXEM.Beijing Office 驰奔 编辑(转载请注明出处)附:COXEM.Beijing Office 驰奔 编辑(转载请注明出处)
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