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求助:EDS打点的面积多大(20kV,50nm)?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 请教各位高手,我做EDS的时候用的束斑是50nm,加速电压20KV,取谱图用的是打点模式,有人问我打点的面积多大,我还真不清楚。我告诉他比束斑要大,但是大多少有没有个大致范围呢?请发表评论。 我用的是JEOL6390LV SEM和OXFORD EDS.
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  • 小石头

    第1楼2006/10/12

    殷切希望大家拔刀相助!我就想确认是不是EDS打点的面积是不是它的束斑?

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  • 德国工兵

    第2楼2006/10/12

    当然不是束斑大小了,而且也不应该用面积来表达!有专门的一个词叫空间分辨率,一个梨形的空间,既然您用的是OXFORD的产品,那么他的帮助里面应该有这些内容,论坛也有很多老贴讲了这个问题!

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  • zhuwenfeng

    第3楼2006/10/12

    我也遇到过这个问题啊!做粉末样品时,如果样品没有压制成薄片,多大的颗粒才能得到较好的定量分析结果?小于此尺寸是不是只能算定性?

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  • 常怀千岁忧

    第4楼2006/10/12

    可以用蒙特卡罗程序模拟的,可惜手头上没有这个软件
    如果使用牛津的能谱,可以用“相互作用区域”查看

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  • 小石头

    第5楼2006/10/12

    谢谢少尉tao的指点,不过这个梨形的体积或者最“胖”的地方直径有多少呢?当然这应该和样品成分组成有关系。还是多谢了!

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  • 小石头

    第6楼2006/10/12

    X-vray的作用体积是不是1~2微米的体积圆?

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  • 小石头

    第7楼2006/10/12

    这是我今天第二次看到蒙特卡罗程序,可能INCA会带这个程序吧。应该不用额外花银子的吧?

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  • 小石头

    第8楼2006/10/12

    从图片上看,X-ray的作用“面积”也有微米级了

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  • skyhunter

    第9楼2006/10/12

    应该是自定义大小的吧。而且随着样品放大倍数的不同,我个人认为它是不同的。

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  • 德国工兵

    第10楼2006/10/13

    具体的作用区域的范围要看样品的结构,不同的样品在相同的电镜条件下作用区域,具体可以参照牛津软件帮助里面的一个MONTE CARLO的模拟,里面分别用了Si样品在5 10 15 20 KV 的条件下以及倾斜的时候的空间分辨率.
    附件是具体路径供你参考.

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