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5975MS开机后机械泵和分子泵不启动是怎么回事？

千层峰

2016/05/28

气质联用（GCMS）

请教大家，5975MS开机后机械泵和分子泵不启动都不能启动，
但把侧板的数据线拔开之后，分子泵能启动，，这故障问题出在哪里呢？？请大家指教。。。

分
该帖子已被版主-symmacros加2积分，加2经验;加分理由:发帖。

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symmacros

第1楼2016/05/28

应助达人

请问是什么数据线？

0

千层峰

第2楼2016/05/28

侧板右下角那根。。应该是控制泵的。。
symmacros(jimzhu) 发表:请问是什么数据线？

0

雾非雾

第3楼2016/05/28

应助达人

感觉那应该是机械泵坏了吧，因为机械泵无法启动，低真空无法完成，所以高真空的分子涡轮泵也无法正常启动。

2

symmacros

第4楼2016/05/29

应助达人

可能是泵控制器故障？

0

tang566

第5楼2016/05/29

应助达人

机械泵单独接电源，能启动吗？

0

千层峰

第6楼2016/05/29

两个泵都没坏，确定
雾非雾(mcds)发表:感觉那应该是机械泵坏了吧，因为机械泵无法启动，低真空无法完成，所以高真空的分子涡轮泵也无法正常启动。

0

千层峰

第7楼2016/05/29

两个泵都确实没坏。。开头说了，拔下侧板左下角的线做，泵正常启动
tang566(tang566)发表:机械泵单独接电源，能启动吗？

0

期盼奇迹的孩子

第8楼2016/05/29

应助达人

目测是侧面主板上有部件坏了~

0

千层峰

第9楼2016/05/29

嗯，是控制板的问题。会是哪一个元件呢？
symmacros(jimzhu)发表:可能是泵控制器故障？

0

sallysally

第10楼2016/05/29

是不是侧板问题？

0

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