ICP-MS
timstoicpms
第1楼2017/11/07
这是两种检测真空度的 仪器/工具 名字：Pirani 皮拉尼，测粗真空，最低是 <1 Pa；Penning 潘宁规，测低真空，最低可小于 1e-5 Pa。在热电四极杆ICP-MS上，Pirani 指的是点火后，两锥之间的真空度，比如 1.94 mbar = 194 Pa；Penning 指的是后端 四极杆质量分析器-检测器 腔体的真空度，比如 5.77e-7 mbar = 5.77e-5 Pa
sdjnqcx
第2楼2017/11/10
是测试真空度的。一个测试两个锥之间的真空，一个测试真空室的真空
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